ГОСТ 32974.1—2016
е) D
n
(номинальный диаметр измерительной камеры или переходника);
0 тип ибыстроту действия форвакуумногонасоса (если такой используется);
д) тип используемыхуплотнителей на входном фланце испытываемого насоса;
h) тип маслоотражателей иловушек, используемых при испытаниях, а также их температуру;
i) температуру ирасход охлаждающей воды;
j) температуру окружающей среды иизмерительной камеры:
k) время итемпературу прогрева измерительной камеры.
5.2 Определение быстроты действия методом двух манометров
5.2.1 Общие положения
Метод двух манометров применяется для высоковакуумных насосов. Измерительная камера
должна соответствовать условиям молекулярного истечения газа. Этот метод рекомендуется для
небольших потоковгаза, где нельзя применитьтрадиционныепотокомеры.Диаметр отверстияраздели
тельной диафрагмы измерительной камеры подбирается исходя из предполагаемой быстроты
действия испытываемого насоса, при обеспечении молекулярного истечения газа, чтобы исключить
ламинарное течение газа через отверстие вдиафрагме.
5.2.2 Измерительная камера для метода двух манометров
Измерительная камера — цилиндрической формы, как показано на рисунке 3. Диафрагма с круг
лым отверстием разделяетизмерительную камерунадве части. Камерадолжна быть оснащена устрой
ством для обезгаживания, которое обеспечивает ее равномерное нагревание для достижения
минимального рабочегодавления.
Диаметр отверстия разделительной диафрагмы (tfd <0.1) выбирается всоответствии с предпола
гаемой быстротойдействия, идолжен бытьтаким, чтобы соотношениедавленийраиренаходилось меж
ду 3 и 30. Необходимо убедиться, что длина свободного пробега молекул газа I в отверстии была не
меньше, чем два диаметра отверстия. 2d.
Значения / приведены вприложении А.
Для испытываемых насосов с диаметром впускного фланца более DN= 100 мм номинальный диа
метр камеры DKдолжен быть равным фактическомудиаметру впускного фланца.
Для насосов с диаметром впускного фланца менее DN= 100 мм. диаметр камеры должен соответ
ствовать D
n
= 100 мм. Переход к впускному фланцу насоса производится с помощью конического пере
ходника на 45°. всоответствии с рисунком 1.
1— трубопроводдлявпускагаза. 2 — трубопроводдлявпускагазаиточкаизмерения температуры Т0;3 — подсоединениеваку
умметраи масс-спектрометра; О — внутреннийдиаметризмерительной камеры;
8
— толщинастенки диафрагмы :p3.D. — Дав
ления в измерительной камере для метода двухманометров
Рисунок 3 — Измерительная камера
7