ГОСТ 32974.1—2016
Если используетсянесколькоионизационныхдатчиков, прямоесоединение междуих источниками
ионов недопустимо.
Для получения низкого базовогодавления 10"2Па на форвакуумной стороне, рекомендуется уста
новить турбомолекулярный насос между клапаном и форвакуумном насосом. Вакуумметр б должен
устанавливаться как можно ближе к выходу испытываемого насоса на выпускном трубопроводе, диа
метр которого должен быть равен выходу испытываемого насоса. Соединительный трубопровод кваку
умметру должен быть расположен перпендикулярно к линии оси выпускного отверстия. Необходимо,
чтобы онбылсмещен вверх от клапана напуска газа 4. Регулируемый клапандлядросселирования пото
ка газа к форвакуумному насосу нужно установить для сохранения газа при испытании. Газы для
испытания должны иметь чистоту равную99.999 % по массе.
5.5.2 Определение степени сжатия и наибольшего выпускного давления
Степень сжатия К0определяется поформуле
где рй1 иДьз — базовые давления испытываемого ифорвакуумного насосов.
Для определения степени сжатия газ впускается ввыход испытываемого насоса изамеряютсядав
ления р, ир3.Максимальноедавление р3. при котором испытываемый насос 3 может непрерывно отка
чивать. является наибольшим выпускным давлением рс.
1— измерительная камера. 2 — форвакуумиый насос. 3 — испытываемый насос: 4 — клапаннапуска газа; 5 — клапан напуска
газа: 6 — вакуумметр (для измерения РуУ 7 — вакуумметр (для измеренияр,); 8 — вакуумметрилимасс-спектрометр. 9 — кла
панрегулируемый: 10 — нагревательная рубашка (дополнительно)
Рисунок 8 — Схема оборудования для определения степени сжатия и наибольшего выпускногодавления
5.5.3 Проведение измерения
Для каждого тестового газа необходимо дождаться, когда в измерительной камере установится
базовое давление р01 (см. 5.4). Соответствующее форвакуумное давление рьз будет небольшим по
сравнению с повышением давления для первой точки измерения, вызванным впуском газа. Температу
ра окружающей среды должнасохраняться впределах *1,5 °С винтервалеот плюс 18 °Сдоплюс25 °С.
Открывайте клапан напуска газа 4 постепенно, чтобы давлениер3повышалось постепенно. Значе
ния форвакуумного давления р3и впускного давления р, записываются одновременно, когда они ста
бильны. впределах 15 % втечение 1 мин.
~
Pi - Рм
и
Рз ~Рьз
ло
_
----------
-
(
12
)
15