ГОСТ 32974.1—2016
Измерения записывают в трех точках в каждом десятичном диапазоне форвакуумного давления.
Измерение следует продолжать, пока р3 не достигнет наибольшего выпускного давления рс. Условия
для измерения наибольшеговыпускного давления определяютсялибопроизводителем испытываемого
насоса.т. либо стандартом на конкретный тип насоса.
Взависимости оттипа испытываемого насоса, измерения степени сжатия можно выполнятьсо ско
ростью откачки (производительностью) "0" или заданной скоростью откачки (производительностью)
насоса, еслиэто предусмотреноинструкцией производителя илистандартом наконкретный тип насоса.
П р и м е ч а н и е — Измерения степени сжатия можно определять по разным газам. При замене газа тру
бопроводы для впуска газа должны продуваться новым газом до начала измерения.
5.5.4 Погрешность измерения
Погрешность измерения степени сжатия можно установить только для значений р, » рЬ1 ир3 »
рьз. Она должна быть равной или менее ±20 %.
5.5.5 Оценка измерения
Постройте графики зависимости в логарифмических координатах, где ось абсцисс — выпускное
давление (р, - рй1) относительно (р3- рьз). ось ординат — степень сжатия KQотносительно (р3- рь3).
Каждый графикдолжен соответствовать определенному родугаза.
П р и м е ч а н и е — Кривые на рисунке 9. пересекающие ось абсцисс в интервале от 10до 200 Па. являются
кривыми степеней сжатия турбомолекулярных насосов с наибольшим выпускным давлением
рг
для различных
газов придавлениях в пределах 100 Па. Три кривые, пересекающие абсциссупримерно на один (десятичный) поря
док выше, чем у турбомолекулярных насосов со ступенями Holweck и соответствующими значениями рс.
5.5.6 Особые рекомендации для измерения сверхвысоких степеней сжатия
Для измерения сверхвысоких степеней сжатия, где базовое давление выше, чем повышение
впускного парциального давления газа, которое напускается на форвакуумную сторону, нужно исполь
зовать масс-спектрометр для измерения этого парциальногодавления. Из-за диапазона впускного дав
ления. которое охватывает шесть декад и более, рекомендуется использовать ионизационный
вакуумметр Байярда—Альперта и масс-спектрометр для измерения давления впараллели.
Для калибровки последних двух приборов напустите тестовый газ через клапан напуска газа 5 в
измерительную камеру, чтобы повысить давление визмерительной камере внесколько раз. Сравнивая
показания разных вакуумметров можно определить калибровочные факторы для ионизационного ваку
умметра и масс-спектрометра.
Производить калибровку рекомендуется после того, как определены степени сжатия.
Рисунок9 — Пример графика зависимости коэффициента сжатия насосов
16