ГОСТ 32974.1—2016
b)спомощью инструментов абсолютногоизмерения,которые соответствуют международной сис
теме единиц, ккоторой могут бытьотнесены неточности измерения.
Используемые откалиброванные измерительные приборы должны иметь сертификат калибровки
всоответствии с ГОСТ ИСО/МЭК17025.
5.1.2 Измерительная камера для метода постоянного потока
Для данных измерений следует использовать измерительную камерувсоответствии срисунком 1,
с номинальным диаметром DK, равным диаметру впускного отверстия испытываемого насоса. Верхняя
часть камеры, противоположная впускному отверстию может быть плоской, конической, или немного
выпуклой с такой же средней высотой над фланцем, какдля плоской поверхности. Фланцы для подсое
динения вакуумных измерительных приборов должны располагаться навысоте 0.5D надфланцем
изме рительной камеры для подсоединения к насосу или к переходнику. Желательно
использовать три измерительных прибора. Диаметр отверстийэтих фланцевдолжен быть
равендиаметруотверстий под соединяемых манометрическихпреобразователей, иих
присоединительные размеры должны бытьука заны. Нельзя располагать измерительные приборы под
углом (в радиусе) ±45° рядом с трубопроводом для впуска газа. Соединительные каналы между
фланцем и камерой не должны выходить за пределы стенки камеры с внутренней стороны, за
исключением трубопровода для впуска газа.
Измерительная камера, если необходимо для испытываемого насоса, должна быть оснащена
устройством для обезгаживания. которое обеспечивает ее равномерное нагревание для достижения
базовогодавления.
Объем измерительной камеры зависит от типа испытываемого насоса (см. встандарте на конкрет
ный тип вакуумного насоса).
Для испытываемых насосов с диаметром впускного фланца менее номинального диаметра
D
n
= 100 мм. диаметр камерыдолжен соответствоватьОы= 100мм. Переход квпускному фланцу насоса
производится с помощью конического переходника на 45% всоответствии с рисунком 1.
J— трубопровод для впуска rasa и точка измерения температуры Г0. 2 — подсоединение вакуумметра и масс-спектрометра;
О — внутренний диаметр измерительной камеры; — номинальный диаметр переходника, равный впускному отверстию
фланцаиспытываемогонасоса
Рисунок 1 — Измерительная камера
5.1.3 Измерительная установка
Измерительная камера должна быть чистой и сухой. Чистота испытываемого насоса, уплотните
лей и других компонентов должна соответствовать предполагаемому базовому давлению. Все компо
ненты собираются вчистых условиях всоответствии с рисунком 2. Расходомеры с разным диапазоном
измерений следует подключать параллельно. Если поток превышает диапазон измерений, то можно
4