ГОСТ 32974.1—2016
Применение формул (8) и (9) вформуле (7) дает скорректированную быстроту действия
(
10
)
5.3.6 Проведение измерений
Вакуумметр и испытываемый насос, подсоединенные кизмерительной камере, должны работать
при открытом быстродействующем клапане, пока не установится базовое давление и. покрайней мере,
стабильная рабочая температура. Выпускное давление насоса должно быть равно атмосферномудав
лению. Температура окружающей среды должна сохраняться в пределах ±1,5 °С в интервале от
плюс 18 еС до плюс 25 еС.
При закрытом клапане напуска газа газоткачивается из измерительной камеры. Если не наблюда
етсядальнейшее понижениедавления, тонеобходимо зафиксировать базовоедавлениерь,. Послеэто
го быстродействующий клапан закрывается, а измерительная камера продувается до атмосферного
давления тестовым газом. Насосы с базовым давлением ниже парциального давления насыщенного
параводыпри комнатной температуреиспытываются с помощьюсухого воздуха, азота илидругихтесто
выхгазов. После закрытия клапана напуска газа показаниюдавления р„ дают стабилизироваться, пока
оно недостигнетпостоянного значения (обычно втечение от 30 до 120 с). Послеэтого быстродействую
щий клапан открывается иодновременно начинается измерение времени для Л/,. Когда перепад отно
сительного давления (р„ - Р,2УРц приближается к 0.1. быстродействующий клапан закрывается, и
измерение времени для д/, прекращается.Давление р12записывается после того, какпоказания стаби
лизируются до постоянного уровня значений после интервала времени ДГ2(обычно:30с< Af2 <120 с).
При давлениях ниже 100 Па влияние негерметичности и скорости десорбции измеряется относи
тельно третьего давления р|3. после следующего интервала времени д/3с закрытым быстродействую
щим клапаном.
Результатом повторения процедуры откачки является измерение значений быстроты действия в
диапазоне от начального давления до базового давления насоса. Измерения могут выполняться с
помощью воздуха илидругих газов, тип которых должен быть определен.
5.3.7 Продолы применяемости
Негерметичность и скорость десорбции не значительно влияют на давление. Второе слагаемое
формулы (9) недолжно превышать 1% pt2.
В молекулярном режиме течения газа проводимость трубопровода между насосом и измеритель
ной камерой снижает определяемую быстроту действия.Чтобы оценитьэто влияние, проводимость тру
бопровода С определяют поформуле (11)
где с"— средняя тепловая скорость газа,
d — диаметр отверстия;
I — длина трубопровода.
Метод может применяться при молекулярном режиме течения газа (2}, если С >20qv.Если C£20gv
метод используется для давлений, при которых длина свободного пробега молекул газа / < 0.1а. где а
— внутренний диаметр соединительного трубопровода. Значения / приведены вприложении А.
5.3.8 Оценка измерения
Быстрота действия рассчитывается по формулам (8)—(10) и оценивается как среднее значение
измеренных давлений ри иpt2.Для графического изображения черезточки измерения можно начертить
результирующую кривую, покя она неотклонится от значений определяемой быстроты действия более,
чем на 5 %. Результирующая кривая — это кривая быстроты действия испытываемого насоса.
5.3.9 Погрешность измерения
Общая погрешность определения быстроты действия должна быть меньше 10 %. Если без коррек
ции отрп доp,1wиотpl2доpt2wпогрешность измерения qvменьше 10 %. то можносчитать. чторИж =рп и
pl2w =р|2. Погрешностьопределения быстроты действия производить порасчету(см. приложение Б).
3
с = ДтагU +W ld )
(
11
)
16 14
- 1
S</А#) —
{Hd)2
13