ГОСТ 32974.1—2016
5.2.3 Измерительная установка
Измерительная камера (см. рисунок 4) должна быть чистой и сухой. Для всех высоковакуумных
соединений рекомендуются прогреваемые фланцы суплотнителями.
ВНИМАНИЕ! Не трогать руками внутренние поверхности. Использовать перчатки во время
сборки.
I — измерительная камера; 2 — форвакуумиыйнасос. 3 — испытываемый насос. 4, 5 — клапан напуска газа, в — вакуумметр
(для измерения р3); 7 — вакуумметр (для измерения pd); 8— вакуумметр (для измерения р#>; 9 — нагревательная рубашка;
10 — точка измерения температуры TQ
Рисунок4 — Схема оборудования для определения быстроты действия методом двух манометров
5.2.4 Определение быстроты действия
Диафрагма с круглым отверстием разделяет измерительную камеру на две части (см. рисунок 3).
Быстрота действия определяется поформуле
Qvs
c [ Pd - Р * Л
(5)
l.Pc ~Рьс)
где С — расчетная проводимость, учитывающая размер отверстия исвойства газа.
Базовые давления рЬй и рЬе в верхней и нижней частях камеры измеряются после прогревания
(см. 5.4) иперед напуском газа. Проводимость отверстия с диаметром dи толщиной 6можнорассчитать
поформуле
(
6
)
где 1/^1 + (6/cQ) — поправочный коэффициент (только для S« d), который может быть определен как
средняявероятность пропускной способности. При значении констант R = 8,314 Дж/(моль К),
Чюздух= 28.97 ■10’3кг/моль, Т0 = 293 К (20 5С) и размерах 5 и d — в м. формула (6) принимает вид
Сооэдух= 91d2/(1 +61(f), если проводимость С измеряется вм3/с, или Своздух= 910(Ш 2/(1 +6/d). если
проводимость С измеряется л/с.
5.2.5 Измерение при методе двух манометров
Схема измерительного оборудования показана на рисунке 4. При закрытых клапанах напуска газа
базовые давления pbdирЬебудут преобладать визмерительной камере (см. 5.4).
5.2.6 Регулировка приборов измерения давления
Газ напускается визмерительную камеручерез клапан напуска газа(см. рисунок4. позиция 4).что
бы проверить чувствительность измерительных приборов 7.8.
8