ГОСТ 32974.1—2016
Погрешность определения объема V измерительной камеры должна быть менее 0,5 %. Для изме
рения давлений р„, р12, а также д/,, быстродействующий клапан 5 между насосом и измерительной
камерой должен быть открытым втечение фиксированного интервала времени Д .
Разность давлений лр =ptl - р12выбирается при лр1р{1 < 0.1.
Формула (9) примениматолькодля изотермического процесса откачки газа.
После закрывания быстродействующего клапана давление р,2изменяется за счет охлаждающего
эффекта изоэнтропического процесса расширения газа во время откачки. Следовательно. р12 нужно
измерять после периода ожидания .У2,выравнивания температуры.
Метод определения быстроты действия с помощью формулы (7) имеет две систематические
погрешности, которые можноскорректировать.
Первая погрешность — следует из определения величины объема V| между испытываемым насо
сом изапорным органом быстродействующегоклапана (см. рисунок6). Этотобъем откачивается (почти)
до базовогодавления насоса рй, вначале интервала измерения Atv Когда клапан открывается,
проис ходит быстрое движение газа из объема V внутри измерительной камеры в объем V,и. таким
образом, снижается реальное стартовое давление р„ при интервале откачки до p,1w. Формула (8)
корректирует падениедавления р„. вызванное движением газа
v - ч
Pltw
=
Риу * РыЧ
(
8
)
Вторая погрешность — возможная негерметичность и десорбция газа измерительной камеры,
вызывающая дополнительную газовую нагрузку во время ожидания тепловой стабилизации. Чтобы
определить воздействие этого эффекта, повышение давления (р13- р12) втретьем интервале времени
Д/3, которое следует за тепловой стабилизацией, должно измеряться при давлении в пределах менее
100 Па. Вэтом случае влияние негерметичности искорости десорбции газа на быстроту действия можно
скорректировать заменой р^ вформуле (9) на виртуальное давлениеpQw.
X — время: У — впускноедавлениеP,s — давления визмерительной камередля метода постоянногообъема,
измеряемыедо ипоело интервалов A!,. Л/г. Л Г,
Рисунок 7 — Пример графика зависимости давления от времени цикла откачки для определения быстроты
действия методом постоянного объема
,2
Рисунок7 показывает зависимость давления отвремени циклаоткачки дляопределения быстроты
действия методом постоянногообъема. Вначале цикла откачки (1)исходное давлениери быстро падает
до рИжиз-за открывания быстродействующего клапана. После этогодавление понижается до 0.9 р,, (2)
из-за откачки во время интервала А/,.После закрытия быстродействующегоклапанадавлениеповыша
ется винтервале Д/2за счет тепловойстабилизациидозначенияр (3). Когда давление возрастаетотр,2 до
р,з (4), влияние негерметичности и скорости десорбции на определение быстроты действия можно
скорректировать экстраполированием наклона кривой в интервале Д/3 к моменту времени (2). Таким
образом, скорректированноедавление pl2wвычисляют поформуле (9)
ДГз
= Pl2~
(Р,3 ~ Pt2 К А* 1 +)
(9)
12