ГОСТ 32974.1—2016
5.4 Измерение базового давления
5.4.1 Условия испытаний
Условия испытаний насоса (частота вращения, рабочая жидкость, охлаждение и т. д.) должны
быть указаны производителем. Температура окружающей среды должна сохраняться в пределах
11.5 °С винтервале от плюс 18 X до плюс 25 "С.
Все измерительные приборы должны быть откалиброваны либо:
a) относительно начального вакуума или всоответствии снациональным стандартом.
b
) с помощью инструментов абсолютного измерения, которые соответствуют международной сис
теме единиц, ккоторой могут бытьотнесены неточности измерения.
Используемые откалиброванные измерительные приборы должны иметь сертификат калибровки
всоответствии с ГОСТ ИСО/МЭК17025.
Для данного измерения используют расположение приборов, показанное на рисунках 2.4 и 6.
5.4.2 Метод испытаний для насосов с базовым давленном более 10’4 Па
Измерительную камеру откачивают при закрытых клапанах напуска газа втечение 1—2 ч, пока не
будет наблюдаться дальнейшее понижение давления в камере, и пока насос не достигнет стабильной
рабочей температуры.
Если предполагаемое базовое давление находится между 10’2 и 10 4Па. измерительная камера
нагревается более Зч до температуры 120 X . Если насос оборудован устройством дляобезгаживания,
он обезгаживается прогревом в соответствии с инструкцией производителя. Обезгаживание насоса и
измерительной камеры завершается одновременно.
Давление р,. измеряемое через 1 ч после того, как насос и измерительная камера достигли своей
стабильной рабочей температуры, является базовым давлением р ^ .
5.4.3 Метод испытаний для насосов с базовым давлением менее 10’4 Па
Во время установки измерительной камеры (см. рисунок 2) необходимо соблюдать требования,
предъявляемые ктехнологиям сверхвысокого вакуума.
Через 1ч после запуска насоса измерительную камеру нагревают до максимальной температуры
от 150 X до 300 X . Если насособорудован устройствомдля обезгаживания. этот процессосуществля
ется прогревом в соответствии с инструкцией производителя. Температура верхней части насоса дол
жна контролироваться и находиться в пределах, установленных инструкцией производителя.
Обезгаживание насоса иизмерительной камеры прекращается одновременно, когда достигается
давление, в 100 раз превышающее предполагаемое базовое давление, но не позднее чем через 48 ч
обезгаживания прогревом. Процедура обезгаживания записывается вотчете по испытанию. Ионизаци
онный манометрдегазируется всоответствии с инструкцией производителявовремя ивконце процесса
обезгаживания. не позднее, чем за 2 ч до начала измерения. Давление в выходном сечении насоса р3
записывается вто же время.
Давлениер, визмерительной камере, измеряемое через48 ч после окончания обезгаживания про
гревом. является базовым давлением ры насоса. Изменение функции давления от времени недолжно
быть положительным.
5.4.4 Оценка измерения
Отчет поиспытанию включает всебя режим прогревания (время итемпературу) и базовоедавле
ние. которые необходимы для вычисления степени сжатия ибыстроты действия.
5.5 Определение степени сжатия и наибольшего выпускного давления
Все измерительные приборы должны быть откалиброваны либо:
a) относительно начального вакуума или всоответствии с национальным стандартом.
b
) спомощью инструментов абсолютного измерения, которые соответствуют международной сис
теме единиц, ккоторой могут бытьотнесены неточности измерения.
Используемые откалиброванные измерительные приборы должны иметь сертификат калибровки
всоответствии с ГОСТ ИСО/МЭК 17025.
5.5.1 Измерительная установка
Измерительная установка для измерения степени сжатия показана на рисунке 8.
Поверхности измерительной камеры, используемые уплотнители ифланцы должны соответство
вать предполагаемому базовому давлению. Для давления менее 10 4 Па должны быть использованы
прогреваемые фланцы с уплотнителями.
Рекомендуется использовать установку несколькихвакуумметровнаразные диапазоныдавлений.
Для давлений р, < 10*® Па должен быть использован масс-спектрометр.
14