ГОСТ32974.1—2016
(ISO 21360-1:2012)
М Е Ж Г О С У Д А Р С Т В Е Н Н Ы ЙС Т А Н Д А Р Т
Вакуумная технология
СТАНДАРТНЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ
Ч а с т ь 1
Общие положения
Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum-pump performance. Part 1. General description
Дата введения — 2018—01—01
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на вакуумные насосы и устанавливает три различных
метода определения быстроты действия, степени сжатия, измерения базового и наибольшего выпус
кного давлений.
Метод постоянного потока — это определение быстроты действия при напуске в вакуумный насос
постоянного потока газа, при котором измеряется впускное давление. На практике измерение потока
газа сдостаточной точностью может быть затруднено, поэтой причине описаны два других метода, при
которых прямое измерение потока газа не используется.
Метод двух манометров — это определение быстроты действия, который используется при
небольшой величине потока и малых впускных давлениях (при высоком и сверхвысоком вакууме). Он
основан на измерении перепада давлений на диафрагме с круглым отверстием, разделяющей измери
тельную камеру на две части, в каждой из которых установлен манометрический преобразователь или
манометр абсолютногодавления.
Метод постоянного объема — это определение быстроты действия подходит для автоматизиро
ванногоизмерения. Он базируется наизвестной зависимости времени вакуумирования объемаотпара
метров процесса вакуумирования: отношения давлений в начале и конце интервала вакуумирования,
величины объема, времени вакуумирования.
Различные воздействия, такие как натекание идесорбция, охлаждение газа почти до изоэнтропи-
ческогорасширения винтервалеоткачки иувеличениегазокинетическогосопротивления влинии соеди
нения между измерительной камерой и насосом, вызванные изменением режимов течения газа в
соединительных коммуникациях при низких давлениях, влияют на измерениедавления и. в результате,
на быстроту действия.
При выборе метода определения необходимо учитывать специфику (вакуумного насоса) и техни
ческие характеристики: например, измерение наибольшего выпускного давления необходимо только
для насоса, который работает с форвакуумным насосом. Измерения характеристик вакуумного насоса,
неописанные внастоящей части стандарта (например, измерение потребляемой мощности), определя
ются стандартом на конкретный тип вакуумного насоса.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использована ссылка на следующий межгосударственный стандарт. Для
датированных ссылок применяют только указанное издание ссылочного документа, для недатирован
ныхссылок применяют последнее издание ссылочного документа (включая все его изменения):
ГОСТ ИСО/МЭК17025—2009 (ISO/IEC 17025) General requirements for the competence oftesting and
calibration laboratories (Общие требования ккомпетентности испытательных икалибровочных лаборато
рий)
Издание официальное
1