ГОСТ Р 8.644—2008
угол расхождения опорного и информативного лучей для каждого интерферометра не должен превы
шать V.
Такое взаимное расположение двух лазерных интерферометров в комплекте с зеркалами позво
ляет в процессе сканирования выступа калибруемого элемента рельефной меры проводить регистра
цию видеопрофиля элемента и одновременную регистрацию перемещения рельефной меры и
Z-сканера с помощью двух лазерных интерферометров.
7.6В соответствии с инструкцией по эксплуатации ACM проводят пробное сканирование калиб
руемого элемента рельефа меры.
При этом предварительно:
- выполняют юстировку зеркал в соответствии с инструкциями по эксплуатации лазерных интер
ферометров:
- путем измененияугла наклона исследуемого объекта обеспечивают взаимную параллельность
направления прохождения информативного луча вертикального лазерного интерферометра и направ
ления вертикального перемещения Z-сканера ACM при сканировании элемента рельефа:
- в соответствии с инструкциями по эксплуатации ACM и лазерных интерферометров определя
ютчастоту искоростьсканирования калибруемого элемента, при которой в электронно-фаэометричес-
ких системах интерферометров можно четко регистрировать количество целых и дробных полос
интерференции, соответствующих значениям фазовых сдвигов между опорными и информативными
лучами горизонтального и вертикального интерферометров:
- устанавливают показания электронно-фазометрических систем всех лазерных интерферомет
ров в «нулевое» положение, определяемое нестабильностью младшего разряда используемых анало
го-цифровых преобразователей в указанных электронно-фазометрических системах.
8 Процедура проведения измерений
8.1 Проводят измерения параметров окружающей среды и показателей качества питающей
электрической сети и проверяют выполнение требований, указанных в 4.3.1.
8.2 В соответствии с инструкциями по эксплуатации ACM и лазерных интерферометров прово
дят сканирование выступа калибруемогоэлемента рельефной меры. Одновременно с помощью лазер
ных интерферометров проводят измерения горизонтального перемещения подвижной части рабочего
стола ACM и вертикального перемещения Z-сканера ACM.
Сечение выступа трапецеидальной формы и места начального и конечного положений зонда
ACM приведены на рисунке 1.
Видеопрофиль, соответствующий этому выступу, представлен на рисунке 2.
Ьр — ширина нижиею основания выступа. Ь„ — ширина верхнего основания выступа, b — высота выступа, а — значение проек
ции наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа
Рисунок 1— Сечение калибруемого элемента рельефной меры
5