ГОСТ Р 8.644—2008
Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
Государственная система обеспечения единства измерений
МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА С ТРАПЕЦЕИДАЛЬНЫМ ПРОФИЛЕМ
ЭЛЕМЕНТОВ
Методика калибровки
State system for ensuring the uniformity of measurements.
Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements.
Methods for calibration
Дата введения — 2009—06—01
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапе
цеидальным профилем элементов (далее — рельефные меры), линейные размеры и материал для
изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют для
измерения линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10"* м.
Настоящий стандарт устанавливает методику калибровки рельефных мер.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ Р 8.628—2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры
рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометричес
ким формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
ГОСТ Р ИСО 14644-2—2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р
ИСО 14644-Г
ГОСТ Р ИСО 14644-5—2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 5. Эксплуатация
ГОСТ 12.1.040—83 Система стандартов безопасности труда. Лазерная безопасность. Общие
положения
ГОСТ 12.2.061—81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное.
Общие требования безопасности к рабочим местам
ГОСТ ИСО 14644-1—2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 1. Классификация чистоты воздуха
П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч
ных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агент
ства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационно
му указателю «Национальные стандарты*, который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по
соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если
ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться за
меняющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором да
на ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
* ГОСТ Р ИСО 14644-1—2000 отменен, с 1 апреля 2004 г. действует ГОСТ ИСО 14644-1—2002.
Издание официальное
1