ГОСТ Р 8.644—2008
9.8 Вычисление проекции наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа
Проекциюнаклонной стенки на плоскостьнижнего основания выступа а. нм, вычисляют поформуле
а = 0.7071/?,
где h — высота выступа, вычисленная по 9.4, нм.
10 Оценка неопределенности измерений параметров
10.1При оценке суммарной стандартной неопределенности uc(AL) горизонтального перемеще
ния подвижной части рабочего стола ЛL пренебрегают неопределенностью в значении показателя пре
ломления воздуха п, вычисленного по приложению А. и неопределенностью в значении длины волны
излучения гелий-неонового лазера в вакууме горизонтального лазерного интерферометра А,. Значе
ние ис(М) вычисляют по формуле
где— длина волны излучения гелий-неонового лазера в вакууме, приведенная в паспорте (фор
муляре) на горизонтальный лазерный интерферометр, нм;
цс(ДФ0) — суммарнаястандартнаянеопределенностьизмеренияфазовогосдвига, приведенная в пас
порте (формуляре) на горизонтальный лазерный интерферометр, рад;
л — показатель преломления воздуха при фактических значениях температуры окружающей
среды, влажности воздуха и атмосферного давления, вычисленный по приложению А.
П р и м е ч а н и е — Если в паспорте (формуляре) на горизонтальный лазерный интерферометр приведена
абсолютная погрешность измерения фазового сдвига, то вычисление ис(АФ,) осуществляют по (?].
10.2При оценке суммарной стандартной неопределенности ис(&Н) вертикального перемещения
Z-сканера ACM лН пренебрегают неопределенностью значения показателя преломления воздуха л.
вычисленного по приложению А, и неопределенностью значения длины волны излучения гелий-неоно
вого лазера в вакууме вертикального лазерного интерферометра л2. Значение ис(АН). нм. вычисляют
по формуле
где л2 — длина волны излучения гелий-неонового лазера в вакууме, приведенная в паспорте (фор
муляре) на вертикальный лазерный интерферометр, нм;
дс(ДФв) — суммарнаястандартнаянеопределенностьизмеренияфазовогосдвига, приведеннаяв пас
порте (формуляре) на вертикальный лазерный интерферометр, рад;
л — показатель преломления воздуха при фактических значениях температуры окружающей
среды, влажности воздуха и атмосферного давления, вычисленный по приложению А.
П р и м е ч а н и е — Если в паспорте (формуляре) на вертикальный лазерный интерферометр приведена
абсолютная погрешность измерения фазового сдвига, то вычисление дс(АФв) осуществляют по [7).
10.3Суммарную стандартную неопределенность ос(т), нм/пиксель, измерения масштабного
коэффициента видеоизображения для оси абсцисс т вычисляют по формуле
где т — масштабный коэффициент видеоизображения для оси абсцисс, вычисленный по 9.2,
нм/пиксель;
ис(М ) — суммарная стандартная неопределенность измерения горизонтального перемещения под
вижной части рабочего стола, вычисленная по 10.1. нм;
AL — горизонтальное перемещение подвижной части рабочего стола, вычисленное по 9.1, нм;
и(Ц — стандартнаянеопределенностьразностиабсцисс конечной иначальнойточек горизонталь
ного сканирования, соответствующая горизонтальному перемещению подвижной части
рабочего стола ACM. пиксель.
L — разностьабсцисс конечной и начальной точекгоризонтальногосканирования, соответству
ющая горизонтальному перемещению подвижной части рабочего стола ACM. пиксель.
1Ус(Д /.)= -^и с(ДФ0).
Uc(AH) = p - U c(A<bB),
4
пп
8