ГОСТ Р 8.644—2008
3.16 стандартная неопределенность: Неопределенность результата измерений, выраженная
в виде среднеквадратического отклонения.
3.17 суммарная стандартная неопределенность: Стандартная неопределенность результата
измерений, полученного путем использования значенийдругих величин, равная положительному квад
ратному корню суммы членов, являющихся дисперсиями или ковариациями этих величин, взвешенны
ми в соответствии с тем, как результат измерений изменяется при изменении этих величин.
4 Технические требования
4.1 Требования к неопределенностям измерений параметров, определяемых в процессе
калибровки
4.1.1 Суммарная стандартная неопределенность измерения высоты выступа калибруемого эле
мента рельефа должна быть не более 2 нм.
4.1.2 Суммарная стандартная неопределенность измерения ширины верхнего основания высту
па калибруемого элемента рельефа должна быть не более 2 нм.
4.1.3 Суммарная стандартная неопределенность измерения ширины нижнего основания высту
па калибруемого элемента рельефа должна быть не более 2 нм.
4.1.4 Суммарная стандартная неопределенность измерения проекции наклонной стенки на плос
кость нижнего основания выступа калибруемого элемента рельефа должна быть не более 1 нм.
4.2 Требования к средствам калибровки и вспомогательному оборудованию
4.2.1 Калибровку рельефной меры проводят с помощью:
- сканирующего зондового атомно-силового микроскопа;
- двух лазерных двухлучевых интерферометров с источником излучения — гелий-неоновым
лазером, длина волны которого стабилизирована по линии насыщенного поглощения в молекулярном
йоде и определена с относительной погрешностью не более 3- 10’7. В комплект поставки каждого
лазерного интерферометра должны входить два зеркала, предназначенные для формирования опор
ного и информативного лучей, по фазовому сдвигу ДФ между которыми определяют перемещение
калибруемого элемента рельефа в процессе его сканирования атомно-силовым микроскопом.
Абсолютная погрешность определения фазового сдвига ДФ — не более 0,002 рад.
4.2.2 В качестве вспомогательного оборудования применяютоптический микроскоп с увеличени
ем не менее400’,а также средства измерений параметров окружающей среды сабсолютными погреш
ностями не более:
- температуры окружающей среды......................................................♦ 0.2 °С;
- относительной влажности воздуха...................................................♦ 3 %;
- атмосферного давления......................................................................♦ 130 Па.
4.2.3 Допускается применять другие средства калибровки, точность которых соответствует тре
бованиям настоящего стандарта.
4.3 Требования к условиям проведения калибровки
4.3.1 Калибровку рельефной меры проводят в следующих условиях:
- температура окружающей среды......................................................(20
а
3) °С;
- относительная влажность воздуха...................................................не более 80 %;
- атмосферное давление......................................................................(10014) кПа;
- напряжение питающей сети............................................................... 220’зз в-
- частота питающей сети......................................................................50’,0Гц.
Разность значений параметров окружающей среды до и после окончания калибровки не должна
превышать указанных в приложении А.
4.3.2 Помещение (зона), в котором размещают средства измерений для калибровки рельефных
мер. должно быть вэксплуатируемом состоянии и обеспечивать класс чистоты не более класса 8 ИСО
по взвешенным в воздухе частицам размерами 0,5 и 5 мкм и концентрациями, определенными по
ГОСТ И С 014644-1. Периодичность контроля состояния помещения (зоны) определяют по
ГОСТ Р ИСО 14644-2. Эксплуатацию помещения (зоны) осуществляют по ГОСТ Р ИСО 14644-5.
3