ГОСТ Р 8.644—2008
3Термины и определения
В настоящем стандарте применены термины по РМГ29 [1]. а также следующие термины с соответ
ствующими определениями.
3.1 рельеф поверхности твердого тела (рельеф поверхности): Поверхность твердого тела,
отклонения которой от идеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной
обработкой.
3.2 элемент рельефа поверхности (элемент рельефа): Пространственно локализованная
часть рельефа поверхности.
3.3 элемент рельефа в форме выступа (выступ). Элемент рельефа, расположенный выше
прилегающих к нему областей.
3.4 геометрическая форма элемента рельефа: Геометрическая фигура, наиболее адекватно
аппроксимирующая форму минимального по площади сечения элемента рельефа.
Пример
—
Трапецеидальный выступ, представляющий собой элемент рельефа поверхности, гео
метрическая форма минимального по площади сечения которого наиболее адекватно аппроксимирует ся
трапецией.
3.5 мера физической величины (мера величины): Средство измерений, предназначенное для
воспроизведения и (или) хранения физической величины одного или нескольких заданных размеров,
значения которых выражены в установленных единицах и известны с необходимой точностью (1).
3.6 рельефная мера: Средство измерений длины, представляющее собой твердый объект,
линейные размеры элементов рельефа которого установлены с необходимой точностью.
П р и м е ч а н и е — Рельефная мера может быть изготовлена с помощью средств микро- и нанотехнологии
или представляет собой специально обработанный объект естественного происхождения.
3.7 рельефная мера нанометрового диапазона: Мера, содержащая элементы рельефа,
линейный размер хотя бы одного из которых менее 10 ем.
3.8 рельефная мера нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов
(рельефная мера): Рельефная мера нанометрового диапазона, геометрическая форма элементов
рельефа которой представляет собой трапецию.
3.9 пиксель: Наименьшийдискретный элемент изображения, получаемый в результате матема
тической обработки информативного сигнала.
3.10 сканирование элемента исследуемого объекта (сканирование): Перемещение зонда
микроскопа над выбранным элементом рельефа поверхности исследуемого объекта (или перемеще
ние исследуемого объекта под зондом) с одновременной регистрацией информативного сигнала.
3.11 изображение на экране монитора микроскопа (видеоизображение): Изображение на
экране монитора микроскопа в виде матрицы из лстрок пот пикселей в каждой, яркость которых прямо
пропорциональна значению сигнала соответствующей точки матрицы.
П р и м е ч а н и е — Яркость пикселя определяется силой света, излучаемой им в направлении глаза наблю
дателя.
3.12 видеопрофиль информативного сигнала (видоопрофиль): Графическая зависимость
значения информативного сигнала, поступающего с детектора микроскопа, от номера пикселя в дан
ной строке видеоизображения.
3.13 масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа (масштабный коэффици
ент): Отношение длины исследуемого элемента на объекте измерений к числу пикселей этого элемен
та на видеоизображении.
П р и м е ч а н и е — Масштабный коэффициент определяют для каждого микроскопа.
3.14 Z-сканер сканирующего зондового атомно-силового микроскопа (Z-сканер): Устрой
ство сканирующего зондового атомно-силового микроскопа, позволяющее в процессе сканирования
перемещать зонд над поверхностью исследуемого объекта (или перемещать исследуемый объект под
зондом) в вертикальном направлении.
3.15 неопределенность измерений (неопределенность): Параметр, связанный с результатом
измерений и характеризующий рассеяние значений, которые можно приписать измеряемой величи не
[1].
2