ГОСТ Р 8.644—2008
П р и м е ч а н и е — При равномерном квантовании видеосигнала значение i/(f.) принимают равным 0.S пик
сель.
10.4 Значение суммарной стандартной неопределенности uc(h) в нанометрах при измерении
высоты выступа h равно значению суммарной стандартной неопределенности ис(АН) вертикального
перемещения Z-скаиера ACM АН. вычисленного по 10.2.
10.5 Суммарную стандартную неопределенность uc(bj. нм. измерения ширины верхнего осно
вания трапецеидального выступа Ьивычисляют по формуле
где £>и — ширина верхнего основания трапецеидального выступа, вычисленная по 9.6. нм;
ис(т) — суммарная стандартная неопределенность измерения масштабного коэффициента видеоизо
бражения для оси абсцисс, нм/ликсель;
т — масштабный коэффициент видеоизображения для оси абсцисс, вычисленный по 9.2. нм/пик-
сель;
и(Ви) — стандартная неопределенность измерения вспомогательной величины для определения
ширины верхнего основания выступа Ви, вычисленной по 9.5. пиксель;
Ви— вспомогательная величина для определения ширины верхнего основания выступа, вычис
ленная по 9.5. пиксель.
П р и м е ч а н и е — При равномерном квантовании видеосигнала значение u<8j принимают равным
0.S пиксель.
11 Оформление результатов калибровки
11.1 Результаты калибровки оформляют в виде сертификата установленной формы [8] с соответ
ствующей записью в паспорте (формуляре) рельефной меры.
11.2 В сертификате калибровки и в паспорте (формуляре) рельефной меры должны быть приве
дены значения высоты выступа, ширины верхнего инижнего его оснований, а также значение проекции
наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа калибруемого элемента. Для перечислен
ных метрологических характеристик рельефной меры необходимо также указать значения неопреде
ленностей, вычисленных по разделу 10 настоящего стандарта.
10.6Суммарную стандартную неопределенность ос(Ьр), нм. измерения ширины нижнего основа
ния трапецеидального выступа Ь0 вычисляют по формуле
ос(Ьр) =
^ |^ Т ^ .
где ис(Ьи) — суммарная стандартная неопределенность измерения ширины верхнего основания
выступа, вычисленная по 10.5. нм;
uc(h) — суммарная стандартная неопределенность измерения высоты выступа, вычисленная по
10.4, нм.
10.7Суммарную стандартную неопределенность ис(з), нм. измерения проекции наклонной стен
ки на плоскость нижнего основания выступа вычисляют по формуле
цс(а) = 0,7071ис(Л).
где uc(h) — суммарная стандартная неопределенность измерения высоты выступа, вычисленная по
10.4, нм.
9