ГОСТ Р 8.644—2008
а — точка на видеопрофиле, соответствующая начальному положению зонда ACM при сканировании;? — точка иа видеопрофи
ле. соответствующая конечному положению зонда при сканировании: Н — высота выступа, измеренная по видео профилю:
L — разность абсцисс конечной и начальной точек тризонтального сканирования, соответствующая значению горизонтального
перемещения подвижной части рабочего стола ACM вычисленная по оидеопрофилю
Рисунок 2 — Видеолрофильсечения калибруемого элемента рельефной меры, приведенного на рисунке 1{направ
ление сканирования — слева направо)
8.3 По показаниям электронно-фазометрической системы горизонтального лазерного интерфе
рометра определяют значение горизонтального фазового сдвига ДФГ в радианах между информатив
ным и опорным лучами этого интерферометра.
8.4 По показаниям электронмо-фаэометрической системы вертикального лазерного интерферо
метра определяют значение вертикального фазового сдвига ДФВв радианах между информативным и
опорным лучами этого интерферометра.
8.5 Проводят измерения параметров окружающей среды и показателей качества питающей
электрической сети и проверяют выполнение требований, указанных в 4.3.1.
8.6 Результаты измерений параметроврельефной меры по 8.2—8.4. а также указанныхна рисун
ке 2 оформляют в виде протокола. Также в протоколе приводят значения условий проведения калиб
ровки до начала и после окончания измерений по 8.1 и 8.5.
Форма протокола — произвольная. Протокол с результатами калибровки должен храниться как
минимум до следующей калибровки рельефной меры.
9 Обработка результатов измерений
9.1Вычисление горизонтального перемещения подвижной части рабочего стола ACM при
сканировании калибруемого элемента
Горизонтальноеперемещение подвижной части рабочегостола ДL, нм. от начальногодо конечно
го положения при сканировании выступа элемента рельефа вычисляют по формуле
Д
L
=-Ь_дф
4плГ
где Х1 — длина волны излучения гелий-неонового лазера в вакууме, приведенная в паспорте (форму
ляре) на горизонтальный лазерный интерферометр, нм;
ДФ, — фазовый сдвиг, измеренный по 8.3. рад;
п — показатель преломления воздуха при фактических значенияхтемпературы окружающей сре
ды. влажности воздуха и атмосферного давления, вычисленный по приложению А.
9.2 Вычисление масштабного коэффициента видеоизображения для оси абсцисс
Масштабный коэффициент видеоизображения т, нм/пиксель. для оси абсцисс вычисляют по
формуле
гдед/.— перемещение подвижной части рабочего стола ACM при горизонтальном сканировании,
вычисленное по 9.1. нм;
L — разностьабсцисс конечной и начальной точек горизонтального сканирования, соответствую
щая горизонтальному перемещению подвижной части рабочего стола ACM, вычисленная по
видеопрофилю (см. рисунок 2). пиксель.
6