ГОСТ Р 8.644—2008
УДК 531.711.7.089:006.354ОКС 17.040.01Т88.1
Ключевые слова: рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элемен
тов, сканирующий зоидовый атомно-силовой микроскоп, лазерный интерферометр, методика калиб
ровки
14