ГОСТ Р 8.644—2008
5 Требования к квалификации калибровщиков
Калибровку рельефных мер должны проводить штатные сотрудники метрологической службы
предприятия, аккредитованной в установленном порядке на проведение калибровочных работ по [2].
Сотрудники должны иметь высшее образование, профессиональную подготовку, опыт работы с атом
но-силовыми микроскопами (далее — ACM) и двухлучевыми лазерными гетеродинными интерферо
метрами и знать требования настоящего стандарта.
Рабочие места калибровщиков должны быть аттестованы по условиям труда в соответствии с
требованиями трудового законодательства.
6 Требования по обеспечению безопасности
При калибровке рельефных мер необходимо соблюдать правила электробезопасности по (3). [4],
требования лазерной безопасности по ГОСТ 12.1.040 и требования по обеспечению безопасности на
рабочих местах по ГОСТ 12.2.061, [5]. [6].
7 Подготовка к процедуре калибровки
7.1 Подготовку к процедуре калибровки рельефной меры начинают с проверки документации и
внешнего осмотра, в процессе которого должно быть установлено:
- соответствие комплекта поставки данным, приведенным в паспорте (формуляре) на рельеф
ную меру;
- отсутствие механических повреждений футляра, в котором осуществлялось хранение и транс
портирование рельефной меры.
7.2 Рельефную меру извлекают из футляра, проводят предварительный визуальный внешний
осмотр для выявления возможных повреждений и с помощью специальных зажимов устанавливают
меру на рабочий стол ACM.
При установке рельефной меры необходимо обеспечить;
- параллельность плоскости, образованной геометрической формой элемента рельефа меры,
направлению горизонтального перемещения рабочего стола ACM;
- плотное прилегание плоскости подложки меры к поверхности рабочего стола ACM.
7.3 С помощью вспомогательного оптического микроскопа осматривают и проверяют качество
поверхности рельефной меры. Шаговая структура на поверхности меры должна быть однородной, при
этом на примерно 75 % поверхности меры не должно быть повреждений маркерных линий, искажений
краев элементов рельефа в виде впадин и выступов, соизмеримых с шириной элементов рельефа.
7.4 С помощью вспомогательного оптического микроскопа устанавливают зонд ACM в положе
ние. соответствующее началу сканирования калибруемого элемента рельефной меры.
Начальное положение определяют следующим образом: зонд ACM устанавливают на плоскость
нижнего основания на расстоянии от калибруемого элемента, равном не менее 20 % и не более 50 %
ширины нижнего основания выступа калибруемого элемента. Аналогично определяют конечное поло
жение зонда ACM при сканировании.
7.5 На неподвижном элементе в камере образцов ACM устанавливают зеркало лазерного интер
ферометра. предназначенное для формирования опорного луча, а на рабочем столе ACM — другое
зеркало, предназначенное для формирования информативного луча. Лазерный интерферометр
(далее — горизонтальныйлазерный интерферометр) располагают вдольоси. совпадающей с горизон
тальным направлением сканирования (далее — ось абсцисс).
Второй комплект зеркал устанавливают на Z-сканере и на неподвижном элементе камеры образ
цов ACM. Эти зеркала предназначены для формирования информативного (на Z-сканере) и опорного
(на неподвижном элементе камеры) лучей, что позволяет регистрировать перемещение Z-скаиера
ACM в вертикальном направлении сканирования (далее — ось ординат).
Второй лазерный интерферометр (далее — вертикальный лазерный интерферометр) устанавли
вают в соответствии с расположением зеркал.
Горизонтальный и вертикальный лазерные интерферометры должны обеспечивать регистрацию
информативных и опорных лучей в процессе сканирования выступа калибруемого элемента. Для каж
дого интерферометра в процессе сканирования необходимо также обеспечить взаимную параллель
ность информативного и опорного лучей при всех положениях стола и Z-сканера ACM. Допустимый
4