ГОСТ Р 8.644—2008
9.3 Вычисление вертикального перемещения Z-сканера ACM при сканировании калибруе
мого элемента
Вертикальное перемещение Z-сканера ACM АН, нм. при сканировании выступа элемента релье
фа вычисляют по формуле
AH =l l - ДФ0,
где >.2 — длина волны излучения гелий-неонового лазера в вакууме, приведенная в паспорте (форму
ляре) на вертикальный лазерный интерферометр, нм;
АФ„ — фазовый сдвиг, измеренный по 8.4. рад;
п — показательпреломления воздуха прифактических значенияхтемпературы окружающей сре
ды. влажности воздуха и атмосферного давления, вычисленный по приложению А.
9.4 Вычисление высоты выступа калибруемого элемента рельефа
Значение высоты выступа h в нанометрах равно значению вертикального перемещения Z-скане
ра АН. вычисленному по 9.3.
9.5 Вычисление вспомогательной величины для определения ширины верхнего основа
ния выступа калибруемого элемента рельефа
При определении ширины верхнего основания трапецеидального выступа Ь„ используют вспомо
гательную величину, для вычисления которой;
- вычисляют производную по горизонтальной координате. Для видеопрофиля, изображенного на
рисунке 2. результат такого вычисления указан на рисунке 3;
- проводят анализ результатов вычисления производной видеопрофиля по координате и вычис
ляют вспомогательную величину Ви в пикселях, которая равна разности соответствующих абсцисс
точек, как изображено на рисунке 3.
х — ось абсцисс по 7.5; а. у — начальная и конечная точки положения зонда ACM при сканирооании калибруемого элемента.
dl
расположенные а соответствии с требованиями 7.4 — . — ось ординат значений производной величины видеосигнала по коор-
<3х
динате ж.
Рисунок3 — Графическое изображение первой производной видеопрофипп по координате внаправлении горизон
тального перемещения подвижной части стола ACM
9.6 Вычисление ширины верхнего основания трапецеидального выступа
Ширину верхнего основания выступа Л>и. нм. вычисляют по формуле
*>и = т В »’
где т — масштабный коэффициент видеоизображения для оси абсцисс, вычисленный по 9.2. нм/пик-
сель;
би — вспомогательная величина, вычисленная по 9.5. пиксель.
9.7 Вычисление ширины нижнего основания трапецеидального выступа
Ширину нижнего основания трапецеидального выступа Ьр, нм. вычисляют по формуле
Ьр = Ь„ + 1.4142 h.
где Ьи — ширина верхнего основания калибруемого выступа, вычисленная по 9.6. нм;
h — высота калибруемого выступа, вычисленная по 9.4. нм.
7