ГОСТ Р ИСО 14966—2022
6.3.4 Покрытые золотом поликарбонатные фильтры с капиллярными порами
Для отбора проб воздуха максимальный номинальный размер пор не должен превышать 0,8 мкм.
Золотое покрытие должно иметь толщину примерно 30 нм, нанесенную на блестящую сторону филь тра.
Процедура подготовки покрытых золотом фильтров приведена в приложении А.
Примечание — При необходимости, слой золота толщиной 20 нм может быть нанесен на обратную
сторону фильтра. Это покрытие служит для защиты фильтра во время обработки кислородной плазмой в плаз
менной установке и позволяет улучшить контраст волокон на изображении, полученном с помощью сканирующего
электронного микроскопа.
6.3.5 Подложные фильтры
В качестве подложных фильтров дополнительно используют мембрану из эфира целлюлозы или
абсорбирующую прокладку с порами размером приблизительно 5 мкм.
6.3.6 Одноразовые пластиковые полевые мониторы (необязательно)
При использовании одноразовых пластиковых полевых мониторов соблюдают требования, при
веденные в 6.1.1, по которым они должны состоять из трехкомпонентных кассет диаметром от 25 до 50
мм. В кассету должен быть вставлен покрытый золотом капиллярно-пористый поликарбонатный
фильтр с максимальным номинальным размером пор 0,8 мкм, с дополнительным подложным филь
тром из эфира целлюлозы с порами 5 мкм или абсорбирующей прокладкой. Должны быть приняты
соответствующие меры предосторожности, чтобы фильтры были плотно зажаты в конструкции, для
исключения значительных утечек воздуха вокруг фильтра.
Повторное использование одноразовых пластиковых полевых мониторов не рекомендуется.
6.3.7 Технически чистый кислород
Используют для работы плазменной установки.
6.3.8 Резиновые соединительные шланги
Используют для подключения пробоотборного наконечника к насосу и другому оборудованию в
пробоотборной линии.
Шланг должен выдерживать вакуум 50 кПа. В качестве материала шланга рекомендуется приме
нять силиконовую резину.
6.3.9 Фильтр-контейнеры
Подобные устройства используют для транспортирования и хранения фильтров, если одноразо
вые полевые мониторы не применяют.
6.3.10 Оборудование и принадлежности для электронной микроскопии
Используют пинцет с острым концом, держатели и скальпель, липкую ленту с двойным покрыти
ем, подложки для сканирующего электронного микроскопа, коллоидную угольную краску и другие стан
дартные принадлежности. Если для изготовления фильтров с золотым покрытием используют
вакуум ный испаритель, применяет дополнительно золотую проволоку и вольфрамовые нити. Для
испарения углерода применяют стержни из спектроскопически чистого углерода и приспособление для
их заточки.
6.3.11 Образец для настройки разрешения
Для настройки условий работы СЭМ используют покрытый золотом поликарбонатный фильтр, на
который нанесены волокна хризотила шириной более 0,2 мкм.
6.3.12 Образец для калибровки увеличения
Для калибровки увеличения сканирующего электронного микроскопа применяют специализиро
ванный тестовый образец. Примером образца, отвечающего требованиям, является стандарт увеличе
ния SRM484e1) (Национальный институт стандартов и технологий США).
7 Отбор проб и анализ
7.1 Планирование измерений
При определении местоположения и временного диапазона измерений важно учитывать особен
ности ситуации. Поэтому очень важно определить цель измерения перед отбором проб. Чтобы получить
максимальную информацию из измерений, должна быть принята во внимание любая доступная инфор
мация об источниках эмиссии, метеорологических условиях и местной ситуации. Количество отдельных
1)
Допускается выполнение калибровки увеличения СЭМ сприменением стандарта увеличения для СЭМ,
утвержденного в Российской Федерации.
7