ГОСТ Р ИСО 14966—2022
Установка для нанесения покрытия распылением отвечает требованиям к золотому покрытию ка
пиллярных фильтров.
6.2.2 Плазменное озоление
При необходимости удаления органических частиц пробу дополнительно обрабатывают в плаз
менной установке.
Пример конфигурации подходящей плазменной установки приведен на рисунке 3. Камера плаз
менной установки может быть связана либо емкостным, либо индуктивным образом. Обработку в плаз
менной установке следует проводить с особой осторожностью для избежания повреждения пробы.
В разделе В.З приведена процедура калибровки для определения подходящих рабочих условий для
плазменной установки.
I
7
1
— колпак; 2 — фильтр в держателе;
3
— вход кислорода;
4
— питание плазмотрона; 5 — соединение для вакуумного насоса;
6 — воздухозаборник; 7 — вход охлаждающей воды;
8
— выход охлаждающей воды
Рисунок 3 — Пример конфигурации плазменной установки
6.3 Анализ пробы
6.3.1 Сканирующий электронный микроскоп (СЭМ)
Для подсчета и идентификации волокон используют ускоряющее напряжение не менее 15 кВ.
6.3.2 Установка для энергодисперсионного рентгеновского анализа
Анализ проводят на установке, способной достигать разрешения более 140 эВ на полуширине
пика МпКа.
Эффективность индивидуальной комбинации СЭМ и твердотельного детектора рентгеновского из
лучения зависит от ряда геометрических факторов. Требуемые характеристики комбинации сканирую
щего электронного микроскопа и рентгеновского анализатора определяют в соответствии с измеренной
интенсивностью рентгеновского излучения, полученного от хризотилового волокна шириной 0,2 мкм в
рабочих условиях, использованных во время анализа. Твердотельные детекторы рентгеновского излу
чения наименее чувствительны в области низких энергий, поэтому обнаружение натрия в крокидолите
является дополнительным критерием эффективности.
Комбинация приборов должна удовлетворять минимальным требованиям в отношении видимо
сти волокон, как указано в 7.4.1, и идентификации волокон, как указано в 7.4.3.
6.3.3 Стереомикроскоп
Для визуального осмотра отложений твердых частиц на фильтре используют устройство с воз
можностью увеличения примерно 20х.
6