ГОСТ Р 59743.2—2022
П р и м е ч а н и е — Диаметр измеряемой области микролинзы может быть установлен с помощью про
граммного обеспечения при определении эффективной числовой апертуры для того, чтобы избежать дополни
тельной дифракции на физической апертуре.
5.6 Апертурная диафрагма
Для ограничения диаметра пучка оптического (лазерного) излучения, падающего на измеряемую
микролинзу, в схеме измерений применяют ограничивающую диафрагму. Допускается использовать
программное обеспечение в качестве ограничителя апертуры при обработке результатов измерений.
6 Дополнительные требования к оборудованию
Измерения аберраций волнового фронта микролинз проводят с применением интерферометра
или другого устройства методами, приведенными в приложениях В— F. При использовании гауссовых
пучков малого диаметра следует проводить дополнительные (специальные) расчеты преобразования
гауссовых пучков оптическими устройствами. Размер приемной площадки детектора должен быть со
пряжен с входным или выходным зрачком измеряемых микролинз.
Метод измерений должен соответствовать применению матрицы микролинз. Для однопроходовых
схем измерений применяют однопроходные интерферометры.
П р и м е ч а н и е — В интерферометрах, как правило, применяют лазерные источники излучения, при этом
следует учитывать, что могут возникнуть трудности при использовании двухпроходных схем измерений с отражен
ным оптическим излучением, например при применении интерферометров Физо или Тваймана Грина. Следует учи
тывать, что все границы оптических элементов схемы формируют дополнительные интерференционные полосы,
усложняющие получение достоверных результатов измерений.
Методы измерений, в которых использовано проходящее оптическое (лазерное) излучение, в
меньшей степени подвержены воздействию паразитных интерференционных полос, чем двухпроход
ные интерферометры с отражением. В связи с этим для измерений рекомендуется применять интер
ферометры типа Маха-Цендера, бокового сдвига или датчик Шака-Гартмана в проходящем оптическом
излучении.
7 Методы измерений
7.1 Методы измерений одиночных микролинз
Для измерений аберраций волнового фронта микролинз применяют интерферометры или детек
торы волнового фронта. Для измерений допускается использовать однопроходные интерферометры,
такие как интерферометр Маха-Цендера, интерферометры бокового сдвига или двухпроходные интер
ферометры, такие как детекторы волнового фронта Физо, Тваймана-Грина и датчики волнового фронта
Шака-Гартмана (см. приложения В— D).
Следует определить требования к методам измерений. Выбор конкретного метода измерений осу
ществляют с учетом следующих критериев:
- требуемая точность;
- характеристики, подлежащие измерению;
- универсальность измерений;
- затраты;
- измерение характеристик одной выбранной микролинзы или всей матрицы микролинз.
При выборе конкретного метода измерений следует руководствоваться
ГОСТ Р 8.745.
7.2 Конкретные методы измерений
Интерферометры или датчики волнового фронта применяют для измерений матрицы микролинз
в целом или отдельных микролинз. Конкретные методы измерений приведены в приложениях Е и F.
П р и м е ч а н и е — Измерения с применением излучения со сферическим волновым фронтом проводят на
отдельных микролинзах, выбранных из матрицы, так как выполнить такие измерения для всей матрицы микролинз
невозможно. Для измерений матриц микролинз применяют излучение с плоским волновым фронтом или специ
альное оборудование с дифракционными элементами формирования волнового фронта (см.
[1]).
3