ГОСТ Р 59743.2—2022
Приложение В
(обязательное)
Методы измерений 1 и 2 с применением интерферометра Маха-Цендера
В.1 Схема измерений и измерительное оборудование
Для измерений применяют, как правило, интерферометры Маха-Цендера с плоским волновым фронтом. Из
лучение с неплоским волновым фронтом используют в этих интерферометрах в случае необходимости измерений
аберраций волнового фронта микролинз с помощью специальных микрообъективов с большим рабочим отрезком вне
интерферометра для формирования изображения на детекторе.
В.2 Проведение измерений
В.2.1 Метод измерений 1
Для измерений применяют интерферометр, элементы которого расположены коаксиально. Элементы ин
терферометра: источник излучения, расширитель луча, ограничитель апертуры, формирующий объектив, эталон
ная линза (объектив) или измеряемая микролинза, зеркала 1—4, линза (объектив) формирования изображения и
датчик изображения. Эталонную линзу и микролинзы следует устанавливать как можно точнее для обеспечения
уменьшения собственных аберраций измерительных устройств.
На рисунке В.1 приведена схема интерферометра фазового сдвига Маха-Цендера с использованием зер
кал 1—4. Параллельный пучок лучей источника излучения расширяется телескопической системой и ограничи
вается диафрагмой, которые расположены перед интерферометром. Затем пучок разделяется на два с помощью
полупрозрачного зеркала 1. Пучок измерительного плеча интерферометра падает на формирующий объектив,
обеспечивающий сферический волновой фронт для облучения измеряемых микролинз или эталонной линзы
(объ ектива), свободных от аберраций, и имеющий одинаковую с микролинзами апертуру. Микролинзы или
эталонная линза (объектив) должны быть расположены конфокально с формирующим объективом, создавая
плоский волно вой фронт в выходном зрачке измеряемой микролинзы. Этот волновой фронт накладывается на
плоскую опорную волну, и в результате формируется интерференционная картина. Изображающий объектив на
выходе интерфе рометра отображает апертуру микролинзы на фотодетекторе с таким коэффициентом
масштабирования, чтобы заполнить большую часть фоточувствительной области матричного детектора,
обеспечивая достаточность данных для определения аберраций волнового фронта микролинзы. Диафрагму
перед интерферометром следует распо лагать на оптической оси и таком расстоянии от формирующего
объектива измерительного плеча, чтобы четкое изображение диафрагмы совпадало с изображением апертуры
измеряемой микролинзы.
Аберрации волнового фронта определяют путем регистрации нескольких сдвинутых по фазе интерференци
онных картин в памяти компьютера и с последующей обработкой данных. Сдвинутые по фазе интерференционные
картины получают при сдвиге зеркала (см. рисунок В.1, позиция
10)
пьезоэлектрическим элементом (см. рису нок
В.1, позиция
13).
На первом этапе измеряют аберрации волнового фронта эталонной линзы (объектива) вместе с аберрация
ми интерферометра и обозначают как Ф0.
На втором этапе в интерферометр помещают измеряемые микролинзы вместо эталонной линзы. Аберра
ции волнового фронта измеряемых микролинз обозначают как Ф. Эти аберрации являются результатом разности
аберраций измеренных микролинз с аберрациями интерферометра Ф1 и аберраций Ф0, измеренных совместно с
эталонной линзой (объективом)
Ф —Ф^ —^о*
Формирующий объектив должен иметь эффективную числовую апертуру
NA,
большую, чем у измеряемых
микролинз.
П р и м е ч а н и я
1 В схеме, приведенной на рисунке В.1,допускается устанавливать диафрагму как можно ближе к выходно
му зрачку эталонной линзы (объектива) или измеряемых микролинз.
2 Диафрагмой задают диаметр области измерений эталонной линзы (объектива) или измеряемых микро
линз. Допускается задавать область измерений эталонной линзы (объектива) и измеряемых микролинз путем раз
мещения диафрагмы как можно ближе к датчику изображения или путем задания области анализа с использова
нием соответствующего программного обеспечения.
7