ГОСТ Р 59743.2—2022
П р и м е ч а н и е — Периодическая фазовая структура обеспечивает боковой сдвиг я для подавления нуле
вого порядка дифракции.
G1— дифракционная решетка 1; G2 — дифракционная решетка 2; +1,-1 — порядок дифракции пучка
Рисунок С.2 — Схема бокового сдвига на основе последовательного расположения двух фазовых решеток Ронки
в интерферометре
G1G2
6
1— источник излучения; 2— расширительный телескоп; 3 — измеряемая матрица микролинз; 4 — объектив микроскопа;
5— интерферометр бокового сдвига; 6— регистрирующее устройство; G1 — решетка 1; G2 — решетка 2
Рисунок С.З — Схема интерферометра бокового сдвига для измерений аберраций волнового фронта микролинз
на основе симметричного дифракционного устройства сдвига, с отсутствием собственных аберраций
С применением интерферометров бокового сдвига можно фиксировать разность аберраций волнового
фронта между поперечно сдвинутыми копиями измеряемого волнового фронта в одном направлении. Необходимо
проводить измерения в двух направлениях (см. рисунок С.4) с целью получения возможности измерить аберрации
волнового фронта путем определения полиномов. Для этого необходимо установить значение бокового сдвига и
направление бокового сдвига. Интерферометр бокового сдвига с дифракционными решетками имеет следующие
существенные преимущества:
a) обеспечивает симметричный боковой сдвиг относительно оптической оси;
b
) обладает стабильными параметрами, он достаточно простой в использовании;
c) может быть развернут на 90° для получения двух ортогональных интерферограмм;
d) значение бокового сдвига можно регулировать изменением расстояния между решетками;
13