ГОСТ Р 59743.2—2022
b) Сдвиг изображений микролинз на один шаг в матрице [по сравнению с рисунком а)],
показывающий сферические аберрации
П р и м е ч а н и е — На левом крае интерферограммы показан сдвиг микролинз на один шаг в матрице.
Рисунок. F.2 — Примеры интерферограмм, полученных по результатам измерений однородности путем сдвига
изображений микролинз на один шаг в матрице
Выбор интерферометра бокового сдвига осуществляют с учетом того, что на точность измерений влияют
аберрации волнового фронта, возникающие в результате несовершенства самого интерферометра. На рисунке F.3
показана схема бокового сдвига на основе последовательного расположения двух фазовых решеток Ронки в интер
ферометре. В таких решетках четные порядки отсутствуют и нулевой порядок подавляется выбором подходящей
глубины травления поверхности. Значение бокового сдвига может изменяться в зависимости от расстояния между
решетками, и их боковой сдвиг, перпендикулярный к канавкам решетки, обеспечивает необходимый фазовый сдвиг
для формирования интерференционной картины. Интерферометр оснащен только двумя решетками с рельефной
поверхностью, поэтому прибор имеет аберрации менее А/20-уровня.
G1 — дифракционная решетка 1; G2 — дифракционная решетка 2; +1,-1 — порядок дифракции пучка
Рисунок F.3 — Схема бокового сдвига на основе последовательного расположения двух фазовых решеток Ронки
F.3 Одновременное измерение аберраций волнового фронта матрицы микролинз
При измерениях аберраций волнового фронта происходит облучение измеряемой микролинзы идеальной
сферической волной или компенсация кривизны сферического волнового фронта вспомогательной эталонной лин
зой или элементом, подобным КСГ. Матрицу измеряют в целом, поэтому шаг микролинз в матрице и шаг КСГ в
матрице должны совпадать. Fla рисунке F.4 показана схема измерений с применением интерферометра Маха-Цен-
19