ГОСТ Р 59743.2—2022
Приложение С
(обязательное)
Методы измерений 3 и 4 с применением интерферометра бокового сдвига
С.1 Схема измерений и измерительное оборудование
В методе измерений 3 (см.
[5])
применяют интерферометр бокового сдвига, с помощью которого измеряют
аберрации волнового фронта микролинз посредством измерения частных производных волнового фронта в двух
ортогональных направлениях с последующей обработкой двух массивов данных.
С.2 Проведение измерений
С.2.1 Метод измерений 3
На рисунке С.1 показан интерферометр бокового сдвига Майкельсона. В интерферометре такой конструкции
расширитель формирует параллельный пучок, испускаемый источником оптического излучения. Затем излучение
падает на измеряемые микролинзы, которые преобразуют плоский волновой фронт в сферический. С помощью
объектива микроскопа с заданной числовой апертурой сферическая волна преобразуется в плоскую. Выходящая
волна содержит аберрации волнового фронта, вносимые измеряемой микролинзой. Вспомогательный объектив
фокусирует волновой фронт на концевых зеркалах интерферометра Майкельсона. При наклоне одного или обоих
зеркал в противоположных направлениях возникающие волновые фронты от вспомогательного объектива сдвига
ются в боковом направлении относительно друг друга.
Если осевые расстояния между элементами интерферометра выбраны правильно, то будет получено четкое
изображение апертуры микролинзы на матрице детекторов, то есть интерферограмма бокового сдвига. При на
клоне зеркала интерферограмма формируется в ортогональном направлении. Фазовые распределения измеряют
методами бокового сдвига. Необходимые боковые сдвиги получают перемещением одного из зеркал в осевом
направлении с помощью ПЭП. Выполнив обработку двух изображений бокового сдвига, можно определить аберра
ции волнового фронта. Данным методом также можно измерить положения микролинз и определить эффективное
фокусное расстояние путем перемещения микрообъектива между поверхностью микролинз и положением фокуса
подвижным механизмом с отсчетным устройством. Для этого применяют канал отраженного оптического излуче
ния
9
с отклоняющим зеркалом
19
(см. рисунок С.1).
11