ГОСТ Р 59743.2—2022
Приложение Е
(обязательное)
Метод измерений с применением интерферометра Тваймана-Грина
Е.1 Схема измерений и измерительное оборудование
Аберрации волнового фронта матрицы микролинз определяют с применением интерферометра Тваймана-
Грина методом измерений 1.
Е.2 Проведение измерений
На рисунке Е.1 показана схема интерферометра Тваймана-Грина для измерений волнового фронта матри
цы микролинз. Параллельный пучок от источника оптического излучения расширяется телескопической системой,
проходит через полуволновую фазовую пластину и падает на поляризационный светоделитель. На поляризацион
ном светоделителе пучок разделяется на два пучка, р-поляризованный пучок проходит поляризационный светоде
литель, четвертьволновую фазовую пластину, отражается от зеркала ПЭП. Затем он преобразуется
четвертьвол новой пластиной в s-поляризованный пучок и отражается от поляризационного светоделителя.
s-поляризованный пучок, отраженный от поляризационного светоделителя, после прохождения через другую
четвертьволновую пластину падает на измеряемую матрицу микролинз. Затем пучок отражается на плоском зер
кале и снова проходит матрицу микролинз, преобразуясь в р-поляризованный пучок четвертьволновой пластиной. На
поляризационном светоделителе происходит наложение обоих пучков друг на друга. Изображение интерферен
ционного поля двух наложенных волновых фронтов формируется на датчике изображения линзой формирования
изображения после прохождения поляризатора. Боковые сдвиги получают путем приложения напряжения к ПЭП,
прикрепленному к опорному зеркалу.
В результате получают сумму четных аберраций волнового фронта измеряемой матрицы микролинз и абер
раций волнового фронта интерферометра. Далее применяют способ вычитания из суммы аберраций волнового
фронта матрицы микролинз и интерферометра, приведенный в приложении D.
Источник излучения, расширитель луча, ограничитель апертуры, первая и вторая линзы, измеряемая матри
ца микролинз, зеркала, линза формирования изображения и датчик изображения должны быть установлены на
одной оптической оси.
На рисунке Е.1 приведена схема интерферометра Тваймана-Грина для измерений только четных аберраций
волнового фронта микролинз. Это означает, что правильно выполнить измерения интерферометром Тваймана-
Грина можно только сферических аберраций, для измерений комы его не применяют. Причиной такого ограниче ния
является инверсия пути оптического излучения после отражения сфокусированных микролинзами лучей на
плоском зеркале.
1
3
1— зеркало; 2— измеряемая матрица микролинз; 3— датчик; 4 — поляризационный светоделитель пучка
Рисунок Е.1 — Схема интерферометра Тваймана-Грина для измерений четных аберраций
волнового фронта матрицы микролинз
17