ГОСТ Р 59743.2—2022
осуществляют путем поворота полуволновой фазовой пластинки, расположенной перед поляризационным свето
делителем. Поляризованные пучки вводят в одномодовые волокна с последующим расширением излучения на
выходе и формированием плоского волнового фронта. Опорную волну объединяют с объектной волной с помощью
неполяризационного светоделителя. Поляризацию опорного пучка согласуют с поляризацией объектного пучка
путем поворота концов волокон. Падающее на измеряемую микролинзу излучение может быть:
a) со сферическим волновым фронтом для измерения значений аберраций;
b
) плоским волновым фронтом путем удаления микрообъектива перед измеряемой микролинзой.
В первом случае используют высококачественный микроскоп с достаточным рабочим отрезком для преоб
разования падающей плоской волны в идеальную сферическую волну, что позволяет измерять аберрации волно
вого фронта
°°lf
для сопряженных микролинз. Плоский волновой фронт используют для измерений микролинз с
небольшой оптической силой и фазовых объектов. Также, применяя плоский волновой фронт, можно определить
эффективное фокусное расстояние в центральной зоне измеряемой микролинзы.
Матрицу микролинз закрепляют в подвижку с перемещением в направлениях х и у. Изображение микролинз
матрицы получают на детекторе с помощью микроскопа, оснащенного объективом и тубусной линзой. Объективы
6
и
8,
приведенные на рисунке В.2, имеют одинаковые рабочие отрезки, поэтому необходимо принять специаль ные
меры для того, чтобы избежать систематических ошибок при изменении увеличения. С целью сохранения по
ложения изображения при смене объектива микроскопа тубусную линзу вместе со светоделителем и детектором
смещают в осевом направлении одновременно для сохранения плоского волнового фронта излучения на втором
светоделителе. Таким образом уменьшают возможность возникновения дополнительных погрешностей в результа
тах измерений, вызванных неправильным расположением элементов схемы интерферометра.
Интерферометр, показанный на рисунке В.2, оснащен поляризационным блоком деления пучка, с помощью
которого можно изменять коэффициент деления и интенсивность излучения.
На рисунках В.З—В.5 показаны примеры изображений для различных настроек интерферометра, приведен
ного на рисунке В.2. Изображение результата измерений аберраций волнового фронта сферических микролинз
приведен на рисунке В.6.
Рисунок В.З — Изображение зоны измерений микролинз, подсвеченных белым светом
Рисунок В.4 — Изображение интерференционной картины матрицы микролинз в поле плоской волны
9