ГОСТ Р 59743.2—2022
1
П р и м е ч а н и е — Входной волновой фронт фокусируется на зеркале с помощью правильно скорректиро
ванного объектива с небольшой числовой апертурой. Влияние светоделительного куба на аберрации волнового
фронта следует учитывать при выборе вспомогательного объектива.
1— источник излучения; 2— расширитель пучка; 3— зеркало; 4— измеряемые микролинзы; 5— объектив микроскопа (например,
с увеличением 20 * 0,65); 6 — зеркало; 7 — светоделитель пучка; 8 — падающее оптическое излучение; 9 — отраженное
оптическое излучение; 10 — аберрированная плоская волна; 11 — вспомогательная линза; 12 — зеркало 1 с возможностью
наклона; 13 — зеркало 2 на ПЭП; 14 — объектив, формирующий изображение; 15 — устройство освещения; 16 — устройство
фазового сдвига; 17— матричный детектор; 18— персональный компьютер; 19 — отклоняющее зеркало
Рисунок С.1 — Схема интерферометра бокового сдвига Майкельсона, в котором боковой сдвиг
создают посредством наклона одного из зеркал
С.2.2 Метод измерений 4
П р и м е ч а н и е — Для получения дополнительной информации см.
[6].
Метод 4 основан на использовании в интерферометре двух дифракционных светоделителей для осущест
вления бокового сдвига. Схема бокового сдвига на основе последовательного расположения двух фазовых реше ток
Ронки в интерферометре приведена на рисунке С.2. В этом случае осуществляется сдвиг плоских волн, исходя щих
от комбинации микролинз и компенсирующего микроскопа. На рисунке С.З приведена схема интерферометра
бокового сдвига для измерений аберраций волнового фронта микролинз на основе симметричного дифракционно го
устройства сдвига, с отсутствием собственных аберраций.
12