ГОСТ Р 59743.2—2022
1— источник излучения; 2 — расширитель луча; 3 — зеркало 2; 4 — формирующий объектив; 5 — эталонная линза (объектив)
или измеряемая микролинза; 6 — зеркало 4; 7 — изображающий объектив; 8 — датчик изображения; 9 — устройство
обработки изображений; 10 — зеркало 3; 11 — зеркало 1; 12 — ограничитель апертуры (диафрагма); 13 — пьезоэлектрический
преобразователь (ПЭП)
Рисунок В.1 — Схема интерферометра фазового сдвига Маха-Цендера
В.2.2 Метод измерений 2
Измерения проводят с применением интерферометра Маха-Цендера на основе блока деления луча с ис
пользованием одномодовых оптических волокон в обоих плечах интерферометра
[4],
схема которого приведена на
рисунке В.2.
1 — источник излучения; 2 — поляризатор; 3 — волоконно-оптический адаптер; 4 — поляризационный светоделитель; 5 —
расширитель (коллиматор) пучка; б — осветительный микрообъектив 20*; 7 — измеряемые микролинзы; 8 — микрообъектив
с увеличением 5х, 10*, 20*, 50*; 9 — зеркало, установленное на ПЭП; 10 — регистрирующее устройство; 11 — полуволновая
фазовая пластина
Рисунок В.2 — Схема интерферометра Маха-Цендера на основе блока деления луча с использованием
одномодовых оптических волокон в обоих плечах интерферометра
В качестве источника излучения в интерферометрах, как правило, применяют He-Ne лазер (см. рисунок В.2).
Используя поляризационный светоделитель, можно осуществлять регулировку интенсивности в обоих плечах ин
терферометра путем вращения поляризатора. Деление пучка в измерительном и опорном плече интерферометра
8