ГОСТ ISO/TS 80004-6-2016
тронно-оптические части, источник возбуждения спектров излучения, электронный детектор, вакуумный насос,
персональный компьютер с управляющей программой, обеспечивающей управление оборудованием, обработ
ку и выдачу результатов измерений.
[ISO 18115-1. статьи 4.187. 4.190. определение термина изменено]
4.14
спектроскопия характеристических потерь энергии электронами; СХПЭЭ; Ме
тод исследования объекта с помощью электронного спектрометра (4.13), основан
ный на регистрации энергетических спектров неупруго рассеянных электронов, ис
пускаемых моноэнергетическим источником и потерявших фиксированные порции
энергии в процессе взаимодействия с объектом.
electron energy
loss
spectroscopy.
EELS
П ри м ечания
1 Значения энергетических спектров электронов, полученные с помощью СХПЭЭ. будут близки к значениям,
полученным с помощью электронной оже-слектроскопии (ЭОС) (4.16) или рентгеновской фотоэлектронной спек
троскопии (РФЭС) (4.18). а пики характеристических потерь энергии электронов расположены вблизи пика упру го
отраженных электронов.
2 Значения энергетических спектров неупруго рассеянных электронов зависят от энергии электронного пучка,
угла его падения на поверхность исследуемого объекта, угла рассеяния электронов и свойств исследуемого
объекта.
[ISO 18115-1, статья 4.197, наименование и определение термина изменены]
4.15
оже-элоктрон: Электрон, покидающий атом под действием ионизирующего из- Auger electron
лучения и высвобождающий место (вакансию) на одной из его внутренних обо
лочек.
П ри м е ча н и е — Энергия оже-электрона характерна для конкретного элемента. Анализ энергии оже-элек-
тронов позволяет определить элементный состав исследуемых объектов.
[ISO 18115-1, статья 4.37, определение термина изменено]
4.16
электронная оже-спектроскопия; ЭОС; Метод исследования объекта с помощью
электронного спектрометра (4.13). основанный на регистрации энергетических
спектров оже-электромов (4.15). испускаемых с поверхности объекта.
Auger electron
spectroscopy,
AES
П р и м е ч а н и е — В ЭОС в качестве ионизирующего излучения используют электронные пучки с энергией от 2
до 30 кэВ. В ЭОС объект также облучают ионами или применяют рентгеновское излучение. В случае при менения
в ЭОС рентгеновского излучения энергию оже-электронов отсчитывают относительно уровня Ферми, а при
применении электронного пучка — уровня Ферми или уровня вакуума. В ЭОС регистрируют энергетические
спектры оже-электронов и осуществляют дифференцирование электрическими методами непосредственно в
процессе записи спектров.
[ISO 18115-1, статья 3.1]
4.17
ультрафиолетовая фотоэлектронная спектроскопия; УФЭС: Метод исследо
вания объекта с помощью электронного спектрометра (4.13), основанный на ре
гистрации энергетических спектров фотоэлектронов, испускаемых с поверхности
объекта, облученного ультрафиолетовым излучением.
ultraviolet
photoelectron
spectroscopy;
UPS
П ри м е ча н и е — В лабораторных электронных спектрометрах для УФЭС в качестве источника ультрафио
летового излучения используют газоразрядные лампы, чаще всего гелиевые. В этих источниках в зависимости от
давления газа и тока разряда генерируется одна из двух интенсивных линий с энергией фотонов 21.2 эВ (Не I)
и 40.8 эВ (Не II). Также в УФЭС применяют источники синхротронного излучения.
[ISO 18115-1. статья 3.22]
14