ГОСТ ISO/TS 80004-6—2016
П ри м е ча н и я
1 Зонд микроскопа размешают вблизи поверхности исследуемого объекта и удерживают на постоянном рас
стоянии. Зонд совершает колебательное движение параллельно поверхности объекта, при этом регистри
руют изменения амплитуды и фазы отраженных сигналов и получают информацию о рельефе поверхности
объекта.
2 Размер оптического зонда микроскопа зависит от размера отверстия (апертуры) диафрагмы, расположенной на
конце зонда. Отверстие диафрагмы имеет размеры в диапазоне от 10до 100 нм. что и определяет разреша ющую
способность микроскопа. В зависимости от наличия или отсутствия диафрагмы на конце зонда СОМБП
разделяют на апертурные и безапертурные. В безапертурном СОМБП зонд представляет собой заостренное
оптическое волокно, покрытое слоем металла, с радиусом на конце от 10 до 100 нм.
3 С помощью СОМБП получают не только растровое изображение объекта, но и информацию о характеристиках
рельефа его поверхности, аналогичные тому, которые можно получить с помощью ACM (3.5.2) и других методов
зондовой микроскопии.
[ISO 18115-2. статья 3.171
3.5.5
микроскопия: СЭМ):
Метод исследования структуры, состава и формы объекта с
помощью микроскопа, формирующего изображение объекта путем сканирования
его поверхности электронным зондом (электронным пучком) и регистрации харак
теристик вторичных процессов, индуцируемых электронным зондом (например,
вторичная электронная эмиссия, обратное рассеяние электронов и рентгеновское
излучение).
растровая электронная микроскопия; РЭМ (Нрк.
сканирующая электронная
scanning
electron
microscopy;
SEM
[ISO 17751. статья 4.10. определение термина изменено]
3.5.6
просвечивающ ая электронная микроскопия; ПЭМ; Метод исследования объек та
с помощью микроскопа, формирующего изображение объекта или его дифрак
ционной картины электронным пучком (электронным зондом), проходящим сквозь
этот объект и взаимодействующим с ним.
transmission
electron
microscopy;
ТЕМ
[ISO 29301:2010. статья 3.37, определение термина изменено]
3.5.7
просвечивающ ая растровая электронная микроскопия: ПРЭМ: Метод исследо
вания объекта с помощью микроскопа, формирующего изображение объекта или
его дифракционной картины сфокусированным электронным пучком (электронным
зондом), проходящим сквозь этот объект и взаимодействующим с ним.
scanning
transmission
electron
microscopy;
STEM
П ри м е ча н и я
1 Диаметр сфокусированного электронного пучка (электронного зонда) должен быть менее 1 нм.
2 С помощью ПРЭМ получают изображение поверхности и внутренней микроструктуры тонких образцов [или
мелких частиц (2.9)] объекта с высоким разрешением, а также исследуют особенности химических и структур
ных характеристик участков микронных или субмикронных размеров объекта путем регистрации, например
спектров рентгеновского излучения, и формирования дифракционной картины.
[ISO/TS 10797. статья 3.10, определение термина изменено]
с помощью микроскопа, формирующего изображение объекта или его дифракци
онной картины упруго отраженными электронами низких энергий, генерируемыми
электронным пучком без сканирования поверхности объекта.
3.5.8 микроскопия медленных электронов. ММЭ Метод исследования объектаlow energy
electron
microscopy,
LEEM
9