ГОСТ Р 56647— 2015
П р и м е ч а н и я
1 Значения энергетических спектров электронов, полученные с помощью СХПЭЭ, будут близки к значениям,
полученным с помощью электронной Ожв-спвктроскопии (ЭОС) (4.16) или рентгеновской фотоэлектронной
спектроскопии (РФЭС) (4.18). а пики характеристических потерь энергии электронов расположены вблизи пика
упруго отраженных электронов.
2 Значения энергетических спектров неупруго рассеянных электронов зависят от энергии электронного пучка,
угла его падения на поверхность исследуемого объекта, угла рассеяния электронов и свойств исследуемого
объекта.
[ИСО 18115-1. статья 4.197. наименование и определение термина изменены)
4.15
Оже-электрон: Электрон, покидающий атом под действием ионизирующегоAuger electron
излучения и высвобождающий место (вакансию) на одной из его внутренних
оболочек.
П р и м е ч а н и е — Энергия Оже-электрона характерна для конкретного элемента. Анализ энергии Оже-элек-
тронов позволяет определить элементный состав исследуемых объектов.
[ИСО 18115-1. статья 4.37, определение термина изменено]
4.16
Auger electron
spectroscopy;
AES
электронная Оже-спектроскопия; ЭОС: Метод исследования объекта с
помощью электронного спектрометра (4.13), основанный на регистрации
энергетических спектров Оже-электронов (4.15), испускаемых с поверхности
объекта.
П р и м е ч а н и е — В ЭОС в качестве ионизирующего излучения используют электронные пучки с энергией от 2
до 30 кэВ. В ЭОС объект также облучают ионами или применяют рентгеновское излучение. В случае при менения
в ЭОС рентгеновского излучения энергию Оже-электронов отсчитывают относительно уровня Ферми, а при
применении электронного пучка — уровня Ферми или уровня вакуума. В ЭОС регистрируют энергетические спектры
Оже-электронов и осуществляют дифференцирование электрическими методами непосредственно в процессе
записи спектров.
[ИСО 18115-1, статья 3.1]
4.17
ультрафиолетовая фотоэлектронная спектроскопия. УФЭС; Метод ис
следования объекта с помощью электронного спектрометра (4.13), основан
ный на регистрации энергетических спектров фотоэлектронов, испускаемых с
поверхности объекта, облученного ультрафиолетовым излучением.
ultraviolet
photoelectron
spectroscopy;
UPS
П р и м е ч а н и е — В лабораторных электронных спектрометрах для УФЭС в качестве источника ультрафио
летового излучения используют газоразрядные лампы, чаще всего гелиевые. В этих источниках, в зависимости от
давления газа и тока разряда, генерируется одна из двух интенсивных линий с энергией фотонов 21.2 эВ
(Не I) и 40.8 эВ (Не II). Также в УФЭС применяют источники синхротронного излучения.
[ИСО 18115-1, статья 3.22]
4.18
рентгеновская ф отоэлектронная спектроскопия; РФЭС: Метод исследо
вания объекта с помощью электронного спектрометра (4.13). основанный на
регистрации энергетических спектров фотоэлектронов и Оже-электронов
(4.15). испускаемых с поверхности объекта, облученного рентгеновским из
лучением.
Х-гау
photoelectron
spectroscopy:
XPS
П р и м е ч а н и е — В лабораторных электронных спектрометрахдля РФЭС рентгеновское излучение создает ся
бомбардировкой мишени высокоэнергетическими электронами. Обычные материалы мишени — это магний (Мд)
и алюминий (AI), обеспечивающие излучение фотонов с энергией 1253.6 и 1486.6 эВ соответственно. В
настоящее время существуют электронные спектрометры, в которых используют мишени издругих материалов.
Также в РФЭС применяют источники синхротронного излучения.
[ИСО 18115-1, статья 3.23]
14