ГОСТ 33518—2015
После достижения необходимого давления нужно подождать 5 мин. Затем измерить давление,
температуру, давлениеокружающейсреды идопустимую быстротудействия(прииспользованиирасхо
домера) или объем вытесняемого газа и время (при использовании откалиброванной бюретки). Если
быстрота действия остается стабильной в пределах колебаний±1 % в течение 5 мин. измерение можно
считать верным. Если быстрота действия не стабильна из-за переходного состояния, то следует
подождать, пока она не стабилизируется.
При измерении производительности в течение более 60 с, давление р, в измерительной камере
необходимо измерять каждую минуту. Если при измерении давления производительность колеблется
более чем на ±1 %, измерение следует повторить, пока данные не стабилизируются. Производитель
ностьзаписывается каксредняя величина значений измерения.
Давление р, нужно измерять, как минимум, в трех точках в каждом десятичном диапазоне до зна
чения. где р2/р, = 2 или
Р2= 2р,.(7)
6.6.2Методика проведения измерений методом стандартной проводимости: впускноедав
ление меньше 10 4Па (10 ембар)
Схема измерительного оборудования показана на рисунке 4. Сначала, при закрытых клапанах
напуска газа минимальное рабочеедавление будет преобладать в измерительной камере (см. 6.9). Газ
напускается в измерительную камеру через клапан напуска газа 5. Измерения проводят с повышающи
мися давлениями, начиная с двойной пороговой величины минимального рабочего давления. Когда
требуемое давление достигнуто и остается стабильным в течение последующих 5 мин в преде лах
15 %. данное измерение можно считать верным.
I------------------------------------------1
1— измерительная камера; 2 — форвакуумный насос; 3 — турбомолекулярмый насос; 4 — клапан напуска таза; 5 — клапаны
напуска газа, б — манометр |для измерения р2): 7 — манометр (для измерения рл); 8 — манометр (для измерения рй):
9 —анализаторостаточных газов; J0 — охлаждаемая ловушка: — нагревательная рубашка; 12— регулируемый клапан
Рисунок 4 — Схема оборудования для измерения быстроты действия методом постоянного давления
7