ГОСТ 33518—2015
(
6
)
;
где—
-----
поправочный коэффициент, который можетбытьопределен как средняя вероятность про-
d
пускнойспособности. При значенииконстантГ?= 8.314Дж/(моль •К),MJir = 28.8 • 10-3кг/моль,
Т = 293 К = 20 °С и размерах Lи d. в м. выражение (6) принимает вид
1
Cair =—-------,если проводимость С измеряется в м3/с, или
4- —
t
«
»if
_ 910004
—.если проводимость Сизмеряется в л/с.
1
6.6 Методика проведения испытаний
6.6.1Методика проведения измерений методом постоянного потока: впускное давление
больше 10-4 Па (10~6мбар)
Измерительная камерадля проведения измерений представлена нарисунке 1.схемаизмеритель
ногооборудованияпоказананарисунке3. При закрытом клапаненапускагаза 5в измерительной камере
должно установиться минимальное рабочее давление (см. 3.4). Затем в измерительную камеру через
клапан 5 напускается газ. Измерения выполняют при возрастающей величинедавления, что позволяет
правильно использовать расходомер 6.
Г
1
10
1— измерительная камера: 2 — форвакуумкый насос: 3 — турбомоле-
кулярный насос. 4 — клапан напуска газа; 5 — клапан напуска газа;
в — расходомер. 7 - манометр (для измерения р,). 8 — манометр
(для измеренияр2>; 9-- охлаждаемая ловушка; 10— нагревательная
рубашка. 11 — регулируемый клапан
Рисунок 3 — Схема оборудования для измерения быстроты
действия методом постоянного потока
6