ГОСТ 33518—2015
1— ^
Qv
а
=0 I
к0-
gva I
Qv°l К
о
-1 •
lI
(
1
)
решение которогодает
%
Qvo
(
2
)
К,j KQ-qva
Вывод данных уравнений приведен в приложении А.
Для небольших значенийК0(например, для водорода. К0* 1000), набыстротудействия турбомоле-
кулярногонасоса влияетпроизводительностьфорвакуумного насоса. Данное влияние может считаться
небольшим, если форвакуумный насос используется с быстротой действия qVBдля всего диапазона
давлений, выведенной из
< 0,05 К0 илиqw > 2 o (^ -)f
(
3
)
где qVji — ожидаемая максимальная быстрота действия турбомолекулярного насоса.
В соответствии с неравенством (3) можно выбрать подходящий форвакуумный насос для газа с
известным значением К0из спецификации турбомолекулярного насоса.
6.4 Быстрота действия
При идеальных условиях, быстрота действия — это объем газа, проходящий из измерительной
камеры через входное отверстие насоса за единицу времени. На практике быстрота действия данного
насоса для данного газа условно принимается равной отношению производительности насоса для
данного газа к равновесномудавлению в определенном месте.
Единицы измерения, принятые для быстроты действия, qv (м3/ч) или (л/с).
6.5 Методы измерения быстроты действия
6.5.1Методдля впускногодавления, большего 10-4 Па (10-* мбар): Метод постоянного пото
ка
Для измерения быстроты действия qv используется метод постоянного потока, который устанав
ливается регулировкой вне измерительной камеры. Если давлениер, в измерительной камере, измеря
емое манометром на определенной высоте над нижним фланцем (см. рисунок 1)остается постоянным,
быстрота действия qvопределяется
где р0— минимальное рабочее давление в измерительной камере (см. 6.9).
С увеличением точности расходомера, данный предел давления может быть смещен на область
низкогодавления.
6.5.2Метод для впускного давления, меньшего 104 Па (10~6 мбар): Метод стандартной
проводимости
Для измерения быстроты действия qv применяется метод постоянного давления, известный как
метод «стандартной проводимости», где диафрагма с отверстием (см. рисунок 2) разделяет измери
тельную камеру на две части. Давление в каждой части камеры измеряется манометрами содинаковой
чувствительностью. Быстрота действия определяется
где С — расчетная проводимость, учитывающая размер отверстия исвойства газа.
Давления р0аироь в верхней и нижней частях камеры измеряются перед напуском газа. Проводи
мость отверстия с диаметром d и толщиной L можно рассчитать по формуле
5