ГОСТ 33518—2015
П р и м е ч а н и е — Предельные параметры зависят от конструкции насоса. В большинстве случаев они
указываются как максимальная температура на определенном участке. Значение Отах зависит от откачиваемого
газа, используемого форвакуумного насоса, условий охлаждения и т. д.
3.3 быстрота действия qv (volume flow rate): Скорость объемного потока, то есть скорость
изменения объема газа в единицу времени.
П р и м е ч а н и я
1 На практике быстрота действия данного насоса для данного газа условно принимается равной отношению
производительности насоса для данного газа к равновесному давлению в определенном месте. Единицы измере
ния. принятые для быстроты действия (м3/ч) или (л/с).
2 Вместо «быстроты действия» часто используется термин «скорость откачки» и символ «S».
3.4 предельное остаточное давление (ultimate pressure): Величина, к которой асимптотически
стремится давление в измерительной камере.
П р и м е ч а н и я
1
Это самое низкое давление, создаваемое насосом.
2 Рекомендуется не указывать значение предельного остаточного давления в инструкции производителя.
Поэтому в данном стандарте не указывается методика измерения предельного остаточногодавления. Однако если
производитель указывает предельное остаточное давление, то также следует указать и рабочие условия, при
которых производится измерение.
3.5 минимально© рабочее давление р0(minimum operational pressure): Давление, получаемое
в измерительной камере спустя 48 ч. после ее обезгаживания.
3.6 степень сжатия Kotf (compression ratio): Отношение давления на выпускном фланце
р
2
к
давлению на впускном фланце
р,
турбомолекулярного насоса.
*.П
= Рг>Р
1-
П р и м е ч а н и е — Для получения степени сжатия при нулевой быстроте действия Ко. для указанного газа,
парциальное давление этого газа в выпускном патрубке должно быть, по крайней мере. 90 % от рг.
3.7 максимальное рабочее давление p1max(maximum working pressure): Максимальноедавле
ние во входном сечении, при котором турбомолекулярный насос и приводное устройство могут безава
рийно работать в течение длительного времени.
4 Обозначения
С — проводимость. м3/с (= 103 л/с);
d — диаметр отверстия, м;
О — внутренний диаметр измерительной камеры, м;
КоП— степень сжатия;
Ко1, а, Ко11й — специальные значения степени сжатия.
К0 — степень сжатия насоса при нулевой производительности;
L — длина отверстия вдиафрагме, м;
М — молярная масса газа, кг/моль;
р0— минимальное рабочее давление, Па (или мбар);
р, — впускное давление. Па (или мбар);
Р\та» — максимальное рабочее давление, Па (или мбар);
р2 — выпускное давление. Па (или мбар);
ра. рь — специальные значения давления. Па (или мбар);
рс— наибольшее выпускноедавление. Па (или мбар);
Q — производительность насоса. Па л/с (или мбар л/с):
Q0 — натекание газа в насосе. Па •л/с (или мбар -л/с);
От — нагрузка испытательным газом, Па ■л/с (или мбар •л/с);
QmM— максимальная производительность, Па л/с (или мбар ■л/с);
Q,. Q2 — специальные значения производительности. Па •л/с (или мбар л/с);
R — универсальная газовая постоянная. 8,314 Дж/(моль •К);
qv— быстрота действия, л/с;
— быстрота действия при Ко11. равном 1, л/с:
2