ГОСТ 33518—2015
5.3 Манометры
Общее измерение давлений должно выполняться при помощи калиброванных манометров с
погрешностью не более 5 % для давлений более 10—* Па (10 е мбар). и не более 10 % — для давлений
ниже данной величины.
После окончания измерений рекомендуется проводить проверку калибровки манометра(ов),
напримерпутем сравнения с эталонным измерительным прибором на месте измерения.
При использовании измерительной камеры (см. 5.2)согласованнаяработа манометра можетбыть
достигнута путем соединения в точке В газонапускной линии (трубопровода), ведущей к выходу насоса в
нижней части камеры (см. рисунок 2). Регулируемый клапан для напуска газа в данный трубопровод
должен открываться таким образом, чтобы получить приблизительно требуемое давление. После ста
билизации. манометры в указанныхточках будутдавать одинаковыепоказания (раирь).Если показания не
совпадают, можно ввести требуемую коррекцию напуска газа.
Рисунок 2 — Измерительная камера
6 Методы и методики проведения испытаний
6.1 Общие положения
Газы для испытания должны иметь чистоту 99,9 % (по массе): азот, водород, гелий и аргон.
6.2 Измерение парциального давления
Для измерения выпускного давления может использоваться манометр с ловушкой.
Для измерения впускного давления может использоваться газоанализатор парциального давле
ния, оснащенный манометром абсолютного давления.
Газоанализаторы парциального давления, используемые на входе насоса, должны иметьдоста
точную разрешающую чувствительность в диапазоне массовых чисел от 1до 100.
6.3 Выбор рабочих характеристик форвакуумного насоса
Быстротадействия qvтурбомолекулярного насоса зависитот быстроты действия gVDпри нулевом
перепаде давлений (р, = р2), степени сжатия Кс при нулевой производительности (Q = 0) и быстроты
действия qVBфорвакуумного насоса в соответствии суравнением
4