ГОСТ 33518—2015
Если давление нестабильно из-за переходного режима, то следует подождать его стабилизации.
Измерьтедавлениярли рь=р, вместе с выпускным давлением р2итемпературой. Если при измерении
одно издавленийколеблетсяболеечем на±5%. измерениеследуетповторить, покаданныенестабили
зируются. Производительность записывается как средняя величина значений измерения.
Проводят измерения, как минимум, в трех точках в каждом десятичном диапазоне до давления
рь = 1 .10-3Па (1.10-5мбар) или до давления, при котором средняядлина свободного пробега молекул
газа в верхней части измерительной камеры станет меньше 2d (d— диаметр отверстия).
Если измерение быстроты действия необходимо продолжить при более высоких давлениях,
то следует применять методику, указанную в6.6.1.
6.6.3 Оценка измерений
Нанесите на полулогарифмический график(см. рисунок 5) кривую быстроты действия дутурбомо-
лекулярного насосаотносительновпускногодавления (р, = рь).Затем натотже графикнанеситекривую
быстроты действия qVB, измеренную на входе турбомолекулярного насоса относительно р2, так чтобы
показатьтипфорвакуумного насоса. Диапазонабсциссы покроетвесь диапазондавленийр, ир2.Следу
ет указать минимальные рабочиедавления турбомолекулярного ифорвакуумного насосов.
Рисунок 5 — Пример кривой быстроты действия
6.7 Максимальная производительность
6.7.1 Метод измерения
По крайней мере, хотя бы для двух типоразмеров форвакуумных насосов, измерьте производи
тельность Qкакфункцию выпускногодавления р2. пока насос работаетпри условиях, указанных произ
водителем. Измерительнаякамерадляпроведения измеренийпредставлена нарисунке 1.Необходимо
обеспечитьналичиеподходящихдатчиковдляконтроляпредельного(ых)параметра(ов)(см.3.2). После
достижения максимальной производительности QmiI. все контролируемые показания должны стабили
зироваться ине превышатьпредписанный предельный параметрдля минимального времени4 ч. Пред
почтительнее, чтобы один из форвакуумных насосов был меньше другого, с производительностью,
указанной производителем, а другой насос — больше примернов 5—10 раз.
Данная методика направлена на проверкуданных, указанных производителем насоса, и поэтому
она является неразрушающей. Однако ее не следует использовать для определения предельного
параметра.
6.7.2 Методика проведения испытаний
Подсоедините насос к измерительной камере (см. 5.1), которая обеспечивает постоянный поток
газа иизмерение впускногодавления р,.Форвакуумная магистральдолжнабытьоборудована маномет
ром для измерениявыпускногодавленияр2.Постепенно(поступенчато)увеличивайтепотокгазасвысо
ковакуумной стороны. Показания датчиков перед записью должны стабилизироваться (см. 6.6.1).
Испытание считается неверным, если показания хотя бы одного издатчиков не стабильны. Испытание
нужно проводить с максимальной производительностью Qmat в течение минимум 4 ч. все показания
должны находиться в пределах, указанныхвыше.
8