ГОСТ 33518—2015
(ISO 5302:2003)
М Е Ж Г О С У Д А Р С Т В Е Н Н Ы ЙС Т А Н Д А Р Т
Вакуумная технология
ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЕ НАСОСЫ
ИЗМЕРЕНИЕ РАБОЧИХ ХАРАКТЕРИСТИК
Vacuum technology. Turbomolecular pumps. Measurement of performance characteristics
Дата введения — 2017—01—01
1 Область применения
Настоящий стандарт определяет методы измерения рабочих характеристик турбомолекулярных
насосов. Он применяется для всех типоразмеров турбомолекулярных насосов с механическими или
магнитными подшипниками; и с или бездополнительной молекулярной ступени.
П р и м е ч а н и е — Для работы турбомолекулярных насосов требуются форвакуумные насосы, их рабочие
характеристики невозможно окончательно определить без следующих значений характеристик, дополнительно к
кривой быстроты действия относительно впускного давления;
- кривой производительности;
- кривой степени сжатия;
- кривой изменения давления на входе для всего диапазона и для различных газов.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте применена нормативная ссылка на следующий межгосударственный
стандарт;
ГОСТ5197—85 Вакуумнаятехника. Терминыи определения
П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч
ных стандартов на территории государства по соответствующему указателю стандартов, составленному по состоя
нию на 1 января текущего года, и по соответствующим информационным указателям, опубликованным в текущем
году. Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руково
дствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положе
ние. в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
3 Термины и определения
В настоящем стандарте применены термины по ГОСТ 5197, а также следующие термины с соот
ветствующими определениями:
3.1 наибольшее выпускное давление рс (critical backing pressure): Максимальное выпускное
давпениер2,при котором насосимеетстепеньсжатияр2/р, г2 и при котором идет истечениепотокагаза
(выхлоп).
П р и м е ч а н и е — Pt — высоковакуумное давление на входе насоса — впускное давление.
3.2 максимальная производительность Qmt)l,Па м3/с (мбар л/с] (maximum throughput): Мак
симальный потокгаза, который можетоткачиваться бесперебойно.
Издание официальное
1