ГОСТ 33518—2015
6.8 Наибольшее выпускное давление
6.8.1 Метод измерения
Напуская испытательный газ в форвакуумную магистраль, увеличьте выпускное давление р2и
установите его до значения степени сжатия КдП= р2/р, = 2. Выпускноедавлениер2 будет являться наи
большим выпускным давлением рс.
Используйте схему оборудования, показанную на рисунке 3, которая обеспечивает постоянный
потокгазаиизмерение впускногодавления
р,
.Форвакуумнаямагистральдолжнабытьоборудована вто
рым клапаном напуска газа (клапан 4 на рисунке 3) и манометром для измерения выпускного давления
р2.
Используемый форвакуумный насосдолжен работать сдвойной нагрузкой испытательного газа при
ожидаемом давлении
р
2
=
рс.
6.8.2 Методика проведения испытания
Перед напуском газа в измерительной камере давление должно быть стабильным р0 < 10~2 Па
(10-4 мбар). тогда можновывести соотношение натекания газа в насосе О0<pQ-qm.
При постоянном потоке испытательного газа Ог увеличьтедавлениер2в форвакуумной магистра
ли, продолжаянапускатьвнеегаз для испытаний. Запишитезначениедавления
р,
и
р2;
онидолжныбыть
стабильны в пределах 10 %за период времени более 15 мин.
В зависимости от типа насоса данное измерение можно проводить при двух различных значениях
р2.
Если дляр2аизмеряемая
Kcfl
аэто 1,5
<
КаП
а<
2. а при
р
20
измеряемая
Ке„
йэто 2
<Kaf)
ь
<
4. тодавле
ние
рс
можно интерполировать из этихдвух значений
р2а
и
р2ь.
6.9 Минимальное рабочеедавление
6.9.1 Условия испытаний
Условия испытаний турбомолекулярного насоса (частота вращения, смазочная жидкость и т. д.)
указываются производителем, температура окружающей среды должна сохраняться в интервале от
15 °С до 25 ’С в течение всей процедуры испытания. После указанного процесса обезгаживания (см.
6.9.2 или 6.9.3) оборудованиедолжно находиться при стабильной температуре в пределах ±3 °С.
Для данного измерения используютсхему оборудования, показанную на рисунке 3.
6.9.2 Методика проведения испытания для насосов с минимальным рабочим давлением
большим 10-4 Па(10‘6 мбар)
Через час после запуска насоса измерительную камеру (см. рисунок 1) нагревают более 3 ч до
температуры 120 °С. Если турбомолекулярный насос оборудован устройством для обезгаживания, то
его обезгаживают прогревом в соответствии с инструкцией производителя. Температура верхней части
турбомолекулярного насоса должна контролироваться в пределах, установленных этой инструкцией.
Обезгаживание турбомолекулярного насоса и измерительной камеры следуетзавершатьодновремен
но. Процесс обезгаживания записывается в отчете об испытании. Ионизационные манометры дегази
руются в соответствии с рекомендациями производителя во время и в конце процесса обезгаживания.
не позднее, чем за2 ч до начала измерения. Давление в выходном сечении турбомолекулярного насоса
записывается в то же время.
Давлениер, в измерительной камере, измеряемое через48ч послеокончанияобезгаживания про
гревом. является минимальным рабочим давлением турбомолекулярного насоса. Изменение функции
давления от времени недолжно быть нарастающим.
6.9.3 Методика проведения испытаний для насосов с минимальным рабочим давлением
меньшим 10 4 Па (10~* мбар)
Во время установки измерительной камеры (см. рисунок 1) необходимо соблюдать требования,
предъявляемые к технологии UHV (сверхвысокого вакуума).
Через 1ч после запуска насоса измерительную камеру нагреваютдо максимальной температуры
300 °С. Если турбомолекулярный насос оборудован устройством для обезгаживания. то его обезгажи
ваютпрогревомвсоответствиис инструкциейпроизводителя. Температура верхнейчаститурбомолеку
лярного насоса должна контролироваться в пределах, установленных этой инструкцией.
Обезгаживание турбомолекулярного насоса и измерительной камеры следуетзавершатьодновремен
но, когдадостигается давление, в 100 раз превышающее ожидаемое рабочеедавление, но не позднее
чем через 48 ч прогрева.
Процессобезгаживания записывается в отчете об испытании. Ионизационныеманометрыдегази
руютсявсоответствиисрекомендациямипроизводителявовремяи вконцепроцессаобезгаживания, не
позднее, чем за 2 ч до начала измерения. Давление в выходном сечении турбомолекулярного насоса
записывается в то же время.
9