ГОСТ 33518—2015
Давление р, в измерительной камере, измеряемое через 48 ч после окончания обезгаживания,
является минимальным рабочим давлением турбомолекулярмого насоса. Изменение функции давле
ния от времени недолжно быть положительным.
6.10 Степень сжатия
6.10.1 Метод измерения
Степень сжатия определяется путем напуска газа в выпускной трубопровод турбомолекулярного
насоса без напуска газа в измерительную камеру.
6.10.2 Устройстводля испытания
Газы для испытания должны иметь чистоту 99.9 % по массе. Давление записывается по показани
ям устройств, откалиброванных для испытательного газа. Используйте оборудование, указанное на
рисунке 1. Рекомендуется использовать установку нескольких манометров на разные диапазоны дав
ления рг Клапан напуска газа 4 (см. рисунок 3) устанавливается у входного отверстия форвакуумного
насосадля изменения выпускногодавления р2.
Манометр 8 должен устанавливаться как можно ближе к выходу турбомолекулярного насоса, на
выпускном трубопроводе, диаметр которогодолжен бытьравен диаметру выходногофланца. Соедини
тельный трубопровод к манометру должен быть перпендикулярен к линии оси выпускного отверстия.
Необходимо, чтобы он был явно смещен оттрубопровода напуска газа.
Для снижения количества любого другого газа на входе турбомолекулярного насоса строго реко
мендуется в качестве форвакуумногонасоса использоватьдругой турбомолекулярныйили диффузион
ный насос. Это снижаетдавление навыходер2до 10 2Па (10-4 мбар) инет необходимости использовать
охлаждаемую ловушку.
6.10.3 Методика проведения испытания
Для каждого испытательного газа - сначала подождите, пока минимальное рабочее давление р0,
будет получено в измерительной камере. Чтобы измерениебыло верным, соответствующее выпускное
давлениер02должно быть менее 0.1 Па (10-3 мбар).
Открывайте клапан напуска газа 4постепенно, чтобыдавлениер2повышалосьпостепенно. Значе
ния выпускного давления р2и входногодавления р, (абсолютное ипарциальное) записывают одновре
менно, когдаони стабильны в пределах±5%втечение5 мин.СтепеньсжатияК.,,вычисляютпоформуле
К
- Рг ~
P
u
j
(8)
Р» - Ро 1
Измерения записывать, как минимум, в трех точках в каждом десятичном диапазоне выпускного
давления.
6.10.4 Оценка измерений
Нанеситекривую впускногодавленияр, относительнор2награфикев логарифмическихкоордина
тах. Укажите минимальное рабочее давленио р0. Затем на график нанесите кривую степени сжатия КоП
относительнор2. Газ для испытанийдолжен бытьчетко указан накаждойдиаграмме.
6.11 Вибрационные характеристики
6.11.1 Общееописание
Колебание турбомолекулярного насоса измеряется в направлении, радиальном валу электро
двигателя. в частотном диапазоне от 10 Гц до трехкратного размера нормальной частоты (скорости)
вращения насоса, работающего при нормальных условиях без газовой нагрузки. Записываются оба
значения, ускорение колебания и виброскорость.
6.11.2 Устройстводля проведения испытания
Турбомолекулярный насос свободно устанавливается в вертикальном и/или горизонтальном
положении в соответствии с инструкцией поэксплуатациипроизводителя, на резиновомлисте4 мм тол
щиной или на твердомбезвибрациониом основании. Основание можетбыть цельнымблоком, в пять раз
превышающим массу насоса, но не менее 100 кг.
ВНИМАНИЕ! Следует принять меры предосторожности для обеспечения безопасности
персонала на рабочем месте.
На впускной фланец насоса устанавливается заглушка в виде стандартного фланца и прокладки.
Насадка(и)для измерения колебаний устанавливается на насос на плоскости под прямым углом к валу
электродвигателя. Размерданной плоскостидолжен составлятьнеболее 1/10 от наибольшего размера
насоса, в стороне от центра масснасоса.
ю