ГОСТ Р 8.696—2010
4 Требования к погрешности измерений
4.1 Пределы допускаемой относительной погрешности результатов измерений межплоскостных
расстояний в кристаллахдолжны бытьне более i 1% при доверительной вероятности Р = 0.95.
4.2 Пределы допускаемой относительной погрешности результатов измерений интенсивностей
токовых рефлексовдолжны быть не более ± 2 % при доверительной вероятности Р = 0,95.
5 Средства измерений и вспомогательные устройства
5.1 Электронограф. обладающий следующими техническими характеристиками:
- значенио ускоряющего напряжения высоковольтного источника электронов должно быть не
менее 50000 В;
- относительное отклонение ускоряющего напряжения должно быть не более 10-3% в течение
30 минего работы;
- эллиптичность должна быть не более 0.1 % для каждого издвух измерений эллиптичностидиф
ракционного кольца, проведенных для двух пар взаимно перпендикулярных диаметров, повернутых
относительно другдруга на45е.
Электронографдолженобладатьсистемойсканированиядляпрецизионной регистрацииэлектро-
нограмм, позволяющей осуществлятьсканирование электронно-дифракционной картины в двух взаим
но перпендикулярных направлениях вугловом диапазоне не менее± 3° с шагом сканирования неболее
0,15’и суммарнойсистематической ошибкой отклонения не более0.05’.
Система сканирования и регистрации электронографа должна обеспечивать возможность прове
дения измерений в двух основных режимах: быстром и медленном. В режиме быстрого сканирования
измерения проводят с шагом от 0.5’до 1.5’ со статистикой счета токовых рефлексов, соответствующей
статистической ошибке измерения интенсивности от 5 % до 10 %. В режиме медленногосканирования,
применяемого для прецизионных измерений распределения интенсивности в рефлексах, значение
шагадолжно бытьот0.05’до0.15’,азадаваемое количествотоковыхимпульсовнадетекторе при накоп
лении сигнала на каждом отдельном шаге сканированиядолжно обеспечивать статистическую погреш
ность измерения интенсивности токового рефлекса не более 2 %.
Электронограф должен бытьоснащен электронно-вычислительным устройством, позволяющим:
- осуществлятьвизуальный контрольдифракционной картины на экране монитора:
- производить записьэлектронограмм в память электронно-вычислительного устройства:
- измерять расстояния между рефлексами на электронограмме с угловым разрешением не
менее 0,05’;
- измерятьотносительное распределение интенсивностей в дифракционной картине.
5.2 Кристаллодержатель. обеспечивающий:
- возможностьнаклонаобразца в вертикальной плоскости, проходящейчерезось колонны прибо
ра и расположенной перпендикулярно к стеклу смотрового окна, предназначенному для предваритель
ного визуальногонаблюдения электронограммы;
- вращение образца в азимутальной плоскости, расположенной перпендикулярно к оси колонны
прибора:
- перемещение образца в двух взаимно перпендикулярных направлениях в азимутальной плос
кости.
5.3 Калибровочныйобразец поликристаллическойструктуры (далее — калибровочный образец),
в паспорте (формуляре) которого приведены следующиеданные:
- тип кристаллической структуры составляющих калибровочный образец монокристалличесхих
зерен;
- значения межплоскостных расстояний неменеечемдля 10 кристаллографических плоскостей с
различными наборами индексов Миллера, которым на электронограмме соответствуют дифракцион
ные кольцас различными значениямидиаметров;
- абсолютные и,’илиотносительные погрешности измерения межплоскостных расстояний, вычис
ленные при выполнении условий окружающей среды, указанных в разделе 9. Относительные погреш
ности измерения межплоскостных расстояний в калибровочном образце должны бытьне более 0.7 %.
5.4 Средства контроля параметров окружающей среды и иных условий проведения измерений с
относительнымипогрешностями не более 30 % значенийдопусков, установленных в разделе 9.
з