9
где частицы отсутствуют, учитывают при подсчете частиц. Площадь этих зон корректируют, вычитая из нее площадь поля зрения на микрографическом изображении, где частицы отсутствуют.
- Анализ изображения частиц
Анализ частиц проводился на исходных микрографических изображениях; и ни одна из особенностей частиц не была изменена или усилена. Пороговую яркость микроскопа настраивали визуально для каждого изображения, чтобы определить максимальную площадь частицы и не внести при анализе фоновые пиксели или ложные частицы. После настройки пороговой яркости изображения программа определялачисло пикселей, составляющих частицы, т. е.их площадь. Отдельно анализировали изображение при каждом увеличении, охватывающем часть распределения частиц по размерам. Как видно, на рисунке 4 контуры частиц более яркие, чем их внутренние области. Результат сканирования частиц по пикселям вдоль наибольшего размера приведен на вставке к рисунку 4. Эта картина наблюдается на микрографических изображениях частиц, поскольку электроны рассеивающего пучка могут легко вылететь из контура частиц и быть обнаружены, а вероятность обнаружения электронов, проникающих в центральную часть частицы, мала [16]. Поскольку яркость контуров частиц почти всегда будет больше пороговой яркости, их считают частью частицы. Программа «заполняет» полые частицы, т. е. частицы, центральная часть которых отображена числом пикселей меньше порогового значения. Таким образом, важным этапом при определении точной площади частиц является идентификация их границ или контуров. Сложностьзаключается в том, что истинный контур частицы никогда не можетбытьопределен с точностью большей, чем ширина пикселя. Определение контуров линейных микроструктур методом электронной микроскопии в метрологии подробно рассмотрено в работе [17]. Для сведения к минимуму неопределенности площади частиц должны быть отображены большим числомпикселей. Например при увеличении х 3300 сферическая частица размером 1 мкм будет отображена приблизительно 270 пикселями. При увеличении х 300 туже самую частицу не анализируют, поскольку она будет отображена лишь двумя или тремя пикселями. Наименьшее число пикселей, используемое при анализе, составляет в большинстве случаев от 13 до 50.