12
компьютером. Коэффициент усиления микроскопа настраивали для каждого фильтра и для каждого увеличения, чтобы получить наиболее контрастное изображение частиц на фоне фильтра при 256-цветовом динамическом диапазоне без насыщения. Увеличение настраивалось таким образом, чтобы учесть все особенности фильтра и частиц. Значение уровня серого для фильтра (фоновый максимум на гистограмме) составляло номинально 20—30 при уровнях серого частиц от более 40 до 50 из 256. Непрерывная запись данных обеспечивалась посредством сохранения всех изображений на двух CD-ROM. Для подробного исследования и охвата интересующего диапазона размеров частиц использовали увеличения х 100, х 300, х 500, х 1500 и х 3300. Эти увеличения соответствуют полям зрения с площадями приблизительно 0,8; 0,09; 0,03; 0,004 и 0,0008 мм2. На рисунке 6 приведены четыре типичных микрографических изображения ISO MTD на поликарбонатном фильтре при четырех увеличениях: х 3300 — рисунок 6а), х 1500 — рисунок 6b), х 500 — рисунок 6с) и х 100 — рисунок 6d). На этих изображениях показаны число, относительный размер и форма частиц пыли.
Рисунок 5 — Схема автоматизированного сбора изображений с помощью СЭМ (х 3300)