14
соответственно. На рисунке 7с некоторые частицы включены в набор данных (они пронумерованы), т. к. общая площадь их пикселей превышает разрешающую способность прибора, настроенную аналитиком, а те частицы, общая площадь пикселей которых ниже, не сосчитываются.
Общедоступная компьютерная программа MacLispix разработана в NIST, а NIH Image используют для анализа изображений [27], [28]. По изображениям получают информацию о площади частиц, наибольшем диаметре (хорде), периметре частиц, числе обнаруженных объектов, расположении поля зрения на фильтре и положении каждой частицы, различенной при пороговом значении яркости изображения. Поскольку микрографические изображения сохраняют, при необходимости может быть проведен дополнительный анализ.
Примечание — Мелкие частицы не были учтены из-за низкого разрешения объектов, состоящих из малого числа пикселей, а одна крупная частица была отбракована из-за того, что она касается границы изображения.
Рисунок 7 — Этапы обработки изображения частиц ISO MTD на СЭМ при х3300
- Обработка данных
Данные анализировали двумя независимыми методами (расчетным методом и методом моделирования). Расчетный метод — это прямое инженерное вычисление, предполагающее равномерное распределение частиц по поверхности фильтра, полученное при правильном планировании и проведении эксперимента. В модельном методе используют данные для создания модели, воспроизводящей распределение частиц на фильтре и задающей вид их распределения [29]. В обоих случаях основой анализа являются необработанные данные о площади отдельных частиц, полученные путем анализа изображений полей, представленных в пикселях для каждого увеличения СЭМ. Число пикселей в составе изображения частицы может быть от6 до 1000 при наличии