ГОСТ Р 8.631—2007
5 Требования к квалификации поверителей
Поверку РЭМ должны проводить штатные сотрудники метрологической службы предприятия,
аккредитованной в установленном порядке на право поверки средств измерений.
Сотрудники должны иметь высшее образование, профессиональную подготовку, опыт работы с
РЭМ и знать требования настоящего стандарта.
(Измененная редакция. Изм. № 1).
6 Требования безопасности
При поверке микроскопов необходимо соблюдать правила электробезопасности по [2]. (3] и требо
вания по обеспечению безопасности на рабочих местах по ГОСТ 12.2.061, [4]. (5].
Рабочие места поверителей должны быть аттестованы по условиям труда в соответствии с требо
ваниями трудового законодательства.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
7 Условия поверки и подготовка к ней
7.1 При проведении поверки микроскопа должны быть соблюдены следующие условия.
- температура окружающей среды ..............................................................(20 i 3) °С;
- относительная влажность воздуха...........................................................не более 80 %;
- атмосферное давление.................................................................................(100 i 4) кПа;
- напряжение питающей сети.........................................................................(220 з. 22)
В;
- частота питающей с е т и .................................................................................(50.0 i 0.4) Гц.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
7.2 Помещение (зона), где размещен микроскоп и средства его поверки, должно быть в эксплуати
руемом состоянии и обеспечивать класс чистоты не более класса 8 ИСО по взвешенным в воздухе части
цам размерами 0,5 и 5 мкм и концентрациями, определенными по ГОСТ ИСО 14644-1. Периодичность
контроля состояния помещения (зоны) определяют по ГОСТ Р ИСО 14644-2. Эксплуатацию помещения
(зоны) осуществляют по ГОСТ Р ИСО 14644-5.
7.3 Подготовку к поверке РЭМ проводят следующим образом:
- выбирают необходимую для поверки микроскопа рельефную меру нанометрового диапазона с
трапецеидальным профилем элементов (далее — рельефная мера), линейные размеры и материал
для изготовления которой соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефная мера должна быть
поверена по ГОСТ Р 8.629. Сечение рельефной меры приведено на рисунке 1. В качестве исследуемого
элемента используют выступ, для которого в паспорте (формуляре) на меру приведено значение проек ции
боковой грани выступа на плоскость нижнего основания а. В зависимости от значения ожидаемого
эффективного диаметра электронного зонда РЭМ d используют рельефную меру, для которой
d
1.5;
- выбранный экземпляр рельефной меры выдерживают в помещении, где будет проведена повер
ка микроскопа, не менее 24 ч;
- проводят проверку соответствия комплекта поставки рельефной меры данным, приведенным в
паспорте (формуляре) на рельефную меру;
- проводят осмотр футляра, в котором осуществлялось хранение и транспортирование рельеф
ной меры, на отсутствие механических повреждений;
- извлекают рельефную меру из футляра и осматривают ее для выявления внешних повреждений
(царапин, сколов и других дефектов) и загрязнений. При необходимости поверхность меры очищают от
частиц пыли струей очищенного и сухого воздуха.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
7.4 Выполняют операции, необходимые для подготовки микроскопа к работе, в соответствии с
требованиями инструкции по его эксплуатации.
4