ГОСТ Р 8.631—2007
Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
Государственная система обеспечения единства измерений
МИКРОСКОПЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ РАСТРОВЫЕ
Методика поверки
Slate system for ensuring the uniformity of measurements. Scanning electron microscopes.
Methods for verification
Дата введения — 2008—02—01
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы (далее — РЭМ),
применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от ^0 S до 10 6 м, и устанавливает мето
дику их первичной и периодических поверок с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ Р 8.628— 2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф
ные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим фор
мам. линейным размерам и выбору материала для изготовления
ГОСТ Р 8.629— 2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф
ные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
ГОСТ Р ИСО 14644-2— 2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия
ГОСТ Р ИСО 14644-Г
ГОСТ Р ИСО 14644-5— 2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 5. Эксплуатация
ГОСТ 12.2.061— 81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное.
Общие требования безопасности к рабочим местам
ГОСТ ИСО 14644-1— 2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 1. Классификация чистоты воздуха
П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч
ных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агент
ства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационно
му указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по
соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если
ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться за
меняющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором да
на ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
* ГОСТ Р ИСО 14644-1—2000 отменен, с 01.04.2004 действует ГОСТ ИСО 14644-1—2002.
Издание официальное
1