- для эффективного диаметра электронного зонда РЭМ d абсолют
ные погрешности измерении в зависимости от значений d приведены в
таблице 2.
Т а б л и ц а 2 — Абсолютные погрешности измерений d
А б со лю тн а я п огр еш н ость и зм ер ен и й , нм .
Диапазон измерений d.
ММ
нс более
1 0 -2 0
± 1,0
2 0 - 5 0
± 2 , 5
Б о л е с 50
г 5 .0
Пункт 10.1 изложить в новой редакции:
«10.1 Результаты поверки оформляют в виде свидетельства установ
ленной формы, внесением соответствующей записи в паспорт (форму
ляр) на РЭМ и оттиском повсритсльного клейма, наносимого на РЭМ*.
Пункт 10.2 дополнить словами: «с погрешностями их измерений по
9.5. а также значения обшей длины видеопрофиля и электронно-опти
ческого увеличения РЭМ. определенные по 8.2.4а».
Библиография. Исключить позиции |1|. |6| и |7|.
Библиографические данные. Ключевые слона. Исключить слово: «из
мерительные».
(ИУС № 2 2011 г.)
12
ГОСТ Р 8.631-200
7