ГОСТ
Р
8.631—2007
3Термины и определения
В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями.
3.1
растровый электронный микроскоп (РЭМ):
Электронный микроскоп, формирующий изобра
жение объекта при сканировании его поверхности электронным зондом.
[ГОСТ 21006— 75, статья 3]__________________________________________________________________________
3.2
рельеф поверхности (твердого тела):
Поверхность твердого тела, отклонения которой от
идеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной обработкой.
3.3
элемент рельефа (поверхности):
Пространственно локализованная часть рельефа поверх
ности.
3.4 (Исключен, Изм. N9 1).
3.5
ускоряющее напряжение электронного микроскопа (ускоряющее напряжение):
Разность
потенциалов, определяющая энергию электронов восветительной системе электронного микроскопа.
[ГОСТ 21006— 75. статья 47]
3.6
изображение во вторичных электронах:
Изображение, сформированное в растровом элек
тронном микроскопе с использованием вторичных электронов от объекта.
[ГОСТ 21006— 75, статья 33]_________________________________________________________________________
3.7
отклоняющая система электронного микроскопа (отклоняющая система):
Электронно-опти
ческий элемент электронного микроскопа, предназначенный для отклонения электронного пучка элек
трическими или магнитными полями.
[ГОСТ 21006— 75, статья 25]_________________________________________________________________________
3.8
электронно-оптическое увеличение электронного микроскопа:
Отношение линейного раз
мера изображения, полученного непосредственно в электронном микроскопе, к линейному размеру
соответствующего элемента объекта.
[ГОСТ 21006— 75, статья 50]_________________________________________________________________________
3.9 пиксель:
Наименьший дискретный элемент изображения, получаемый в результате матема
тической обработки информативного сигнала.
3.10 изображение на экране монитора микроскопа (видеоизображение):
Изображение на
экране монитора РЭМ в виде матрицы из л строк по т пикселей в каждой, яркость которых прямо пропор
циональна значению сигнала соответствующей точки матрицы.
П р и м е ч а н и е — Яркость пикселя определяется силой света, излучаемой а направлении глаза наблюда
теля.
3.11 видоопрофиль информативного сигнала (видеопрофиль):
Графическая зависимость
значения информативного сигнала, поступающего с детектора микроскопа, от номера пикселя в данной
строке видеоизображения.
3.12 масштабный коэффициент (видеоизображения РЭМ):
Отношение длины исследуемого
элемента на объекте измерений к числу пикселей этого элемента на видеоизображении.
П р и м е ч а н и е — Масштабный коэффициент определяют для каждого микроскопа.
2